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Self-conditioning 고정입자패드를 이용한 CMP
박범영, 이현섭, 박기현, 서헌덕, 정해도, 김호윤, 김형재, Park. Boumyoung, Lee. Hyunseop, Park. Kihyun, Seo. Heondeok, Jeong. Haedo, Kim. Hoyoun, Kim. Hyoungjae 한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 6 Pages
한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 2005, Vol.18 No.4 321-326 (6 pages)


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