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STI-CMP 공정의 질화막 잔존물 및 패드 산화막 손상에 대한 연구
이우선, 서용진, 김상용, 장의구, Lee. U-Seon, Seo. Yong-Jin, Kim. Sang-Yong, Jang. Ui-Gu 대한전기학회 전기학회논문지. The transactions of the Korean Institute of Electrical Engineers. C/ C, 전기물성·응용부문 6 Pages
대한전기학회 전기학회논문지. The transactions of the Korean Institute of Electrical Engineers. C/ C, 전기물성·응용부문 2001, Vol.50 No.9 438-443 (6 pages)
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Determination of End Point for Direct Chemical Mechanical Polishing of Shallow Trench Isolation Structure
Seo. Yong-Jin, Lee. Kyoung-Jin, Kim. Sang-Yong, Lee. Woo-Sun 대한전기학회 KIEE international transactions on electrophysics and applications 5 Pages
대한전기학회 KIEE international transactions on electrophysics and applications 2003, No.0 28-32 (5 pages)
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초고집적용 새로운 회자 구조의 얕은 트랜치 격리의 특성 분석
이용재, Lee. Yong-Jae 한국정보통신학회 한국정보통신학회논문지 7 Pages
한국정보통신학회 한국정보통신학회논문지 2014, Vol.18 No.10 2509-2515 (7 pages)
본 논문에서는, 초고집적 CMOS를 위한 얕은 트랜치 격리로 기존의 수직 구조에서 내부 임계전압과 활성 영역의 스트레스 영향을 개선시키고자 한다. 이를 위해서 제안한 구조는 회자 모양의 얕은 트랜치 격리 구조이며, 기존 수직 구조와 제안한 구조에 대해서 전자농도 분포와 게이트 바이어스 대 에너지 밴드 형태, 열전자 스트레스와 열 손상의 유전 강화 전계를 분석 하고자 한다. 물리적 기본 모델들은 TCAD 툴을 이용하며, 집적화 소자들에 있어서 분석 조건은 주위 조건과 스트레스 인가이다. 분석 결과, 얕은 트랜치 격리 구조가... -
고집적을 위한 얕은 트랜치 격리에서 제안한 구조의 특성 모의 분석
이용재, Lee. YongJae 한국시뮬레이션학회 한국시뮬레이션학회논문지 6 Pages
한국시뮬레이션학회 한국시뮬레이션학회논문지 2014, Vol.23 No.3 27-32 (6 pages)
본 논문에서는, 초고집적 CMOS 회로를 위한 얕은 트랜치 격리로 기존의 수직 구조 보다 개선된 성질을 갖는 새로운 구조를 제안하고자 한다. 이를 위해서 제안한 구조는 회자 모양의 얕은 트랜치 격리 구조이다. 특성 분석은 기존 수직 구조와 제안한 구조에 대해서 전자농도 분포, 열전자 스트레스의 산화막 모양, 전위와 전계 플럭스, 열 손상의 유전 전계와 소자에서 전류-전압 특성을 분석 하고자 한다. 물리적 기본 모델들은 TCAD 툴을 이용하며, 집적화 소자들에 있어서 분석 조건은 주위 조건과 전류와 시간의 인가 스트레스...