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하이브리드 플라즈마 입자가속 충격퇴적(Hybrid Plasma - Particle Accelerating Impact Deposition, HP-PAID) 프로세스에 의한 Si 나노구조 코팅층의 제조 및 특성평가
이형직, 권혁병, 정해경, 장성식, 윤상옥, 이형복, 이홍림 한국세라믹학회 한국세라믹학회지 6 Pages
한국세라믹학회 한국세라믹학회지 2003, Vol.40 No.12 1202-1207 (6 pages)
최근 개발된 하이브리드플라즈마 가속입자충격 프로세스를 이용하여 기상의 TEOS(tetraethoxysilane, (C$_2$ $H_{5}$O)$_4$Si)를 Ar-hybrid plasma 환경 하에 분사하는 방법으로 나노구조(nanostructured) Si 코팅 합성에 대해서 연구하였다. 반응가스와 함께 플라즈마제트는 노즐을 통해서 챔버속으로 700 torr정도에서 10 torr정도로 압력 강하를 동반하며 확장되었다. 노즐의 초중단부에서 핵생성 및 입성장한 초미세입자는 노즐의 하단의 자유 제트에서 가속되어 온도조절 기판위에 관성 충격에 의해 퇴적되어 10nm 이하의 비정질... -
개의 신내혈류(腎內血流)에 미치는 Isoproterenol의 영향(影響)
박기동(Park, Ki-Dong), 대한약리학회 대한약리학잡지 8 Pages
대한약리학회 대한약리학잡지 1969, 제 5권 제 2호 10 141-148 (8 pages)
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Chlorpromazine 의 용혈작용(溶血作用)에 관(關)한 연구(硏究)
김규태(Kim, Kyu-Tae), 대한약리학회 대한약리학잡지 12 Pages
대한약리학회 대한약리학잡지 1967, 제 3권 제 1호 6 31-42 (12 pages)
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수뇨관 결찰이 신장에 미치는 영향
김신곤(Kim, Shin G.), 조경우(Cho, Kyung W.) 대한생리학회 대한생리학회지 16 Pages
대한생리학회 대한생리학회지 1985, 제 19권 제 2호 7 173-188 (16 pages)
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Cu oxide의 형성과 H(hfac) 반응을 이용한 Cu 박막의 건식식각
양희정, 홍성진, 조범석, 이원희, 이재갑, Yang. Hui-Jeong, Hong. Seong-Jin, Jo. Beom-Seok, Lee. Won-Hui, Lee. Jae-Gap 한국재료학회 한국재료학회지 6 Pages
한국재료학회 한국재료학회지 2001, Vol.11 No.6 527-532 (6 pages)
O$_2$plasma와 H(hfac)을 이용한 Cu 박막의 건식 식각을 조사하였다. 휘발성이 큰 Cu(hfac)$_2$와 $H_2O$를 탈착시키기 위하여 $O_2$ Plasma를 이용한 Cu 박막의 산화와 생성된 Cu 산화막을 H(hfac)과의 반응으로 제거하는 공정으로 식각을 수행하였다. Cu 박막의 식각율은 50-700 /min의 범위를 보였으며, 기판온도, H(hfac)/O$_2$ 유량비, plasma power에 따라 변하였다. Cu 박막의 식각율은 기판온도 215$^{circ}C$보다 높은 온도구간에서 RF power가 증가함에 따라 증가하였고, 산화 공정과 H (hfac)과의 반응이 균형을 이루는 최적의... -
HIP처리가 플라즈마 용사된 열차폐 코팅층의 접착강도와 고온특성에 미치는 영향
박영규, 김성휘, 김두수, 이영찬, 최철, 정진성, 김길무, 김재철, Park. Yeong-Gyu, Kim. Seong-Hwi, Kim. Du-Su, Lee. Yeong-Chan, Choe. Cheol, Jeong. Jin-Seong, Kim. Gil-M 한국재료학회 한국재료학회지 5 Pages
한국재료학회 한국재료학회지 2000, Vol.10 No.4 312-316 (5 pages)
열차폐 코팅층의 접착강도 및 고온특성에 미치는 영향을 조사하였다. 시편은 IN738LC 초합금 표면에 8wt%Y$_2$O$_3$-$ZrO_2$분말을 플라즈마 용사법으로 코팅한 후 $1200^{circ}C$, 100MPa의 고온, 고압에서 4시간 동안 HIP 처리하여 준비하였다. 실험결과 HIP 처리된 코팅의 경우 미세균열과 기공이 상당량 감소하였으며 EDX분석을 통해 계면에서 원자간 상호확산이 발생한 것을 확인하였다. 이러한 코팅층의 치밀화 및 상호확산으로 인해 HIP처리된 코팅층의 접착강도는 48% 이상 크게 증가하였으며 조직 또한 균질화 되었다. 반면... -
스파크 플라즈마 소결에 의한 액상소결 SiC-30 wt% TiC 복합체
조경식, 이광순, 송진호, 김진영, 송규호 한국세라믹학회 한국세라믹학회지 7 Pages
한국세라믹학회 한국세라믹학회지 2003, Vol.40 No.8 751-757 (7 pages)
$_2$O$_3$-Y$_2$O$_3$-CaO를 첨가한 SiC-30 wt% TiC 분말을 스파크 플라즈마 소결(SPS) 방법을 사용하여 급속 치밀화 하였다. SPS 공정은 매우 빠른 승온 속도와 짧은 시간에 완전 치밀한 시편을 얻을 수 있다. 본 실험에서, 승온 속도와 압력은 $100^{circ}C$/min과 40MPa이고, 소결 온도 범위는$1600^{circ}C$~$1800^{circ}C$이었으며, 10min 동한 유지하였다. $Al_2$O$_3$, $Y_2$O$_3$ 및 CaO를 첨가한 SiC-30 wt% TiC 복합체는 $1700^{circ}C$ 이상 온도에서 스파크 플라즈마 소결 방법으로 완전 치밀화가 이루어졌다. 모든 SPS 공정... -
고온용 ZnO계 열전 재료의 방전플라즈마 소결 특성 및 미세구조
심광보, 김경훈, 홍영호, 채재홍 한국세라믹학회 한국세라믹학회지 6 Pages
한국세라믹학회 한국세라믹학회지 2003, Vol.40 No.6 560-565 (6 pages)
방전 플라즈마 소결법(SPS: Spark Plasma Sintering)을 이용하여 800~100$0^{circ}C$의 낮은 소결 온도에서 완전 치밀화를 이루는 M-doped ZnO를 (M=Al, Ni) 제조하여 그 소결 특성과 미세구조를 분석하였다. 전자현미경 분석 결과, NiO의 첨가는 ZnO 결정격자와의 고용체 형성을 촉진시키고 결정립 성장을 유발하였고, A1$_2$O$_3$는 순수한 ZnO 소결 시 나타나는 입계에서의 증발현상을 제어하고, 이차상 형성을 통하여 결정립 성장을 억제함을 확인할 수 있었다 NiO와 $Al_2$O$_3$를 동시에 첨가한 시편이 가장 우수한 미세구조가... -
이중 절연층 공정에서 상부절연층의 산화시간에 따른 터널자기저항 특성연구
이기영, 송오성, Lee. Ki-Yung, Song. Oh-Sung 한국자기학회 韓國磁氣學會誌 4 Pages
한국자기학회 韓國磁氣學會誌 2002, Vol.12 No.3 99-102 (4 pages)
MR비는 27~31 %로 큰 변화가 없었으나, 단일산화 절연막을 가진 시편(24%)보다는 모두 높은 자기저항비를 보였다. I-V측정을 통해 간접적으로 유효 장벽 높이와 장벽 폭을 계산한 결과 장벽 높이는 1.3~1.8eV로 터널링 장벽으로서 충분한 크기를 보였으며 장벽 폭의 경우에는 15.0 $AA$ 이하로 실제 물리적으로 측정한 값보다 작음을 알 수 있었다. 이는 Al금속이 완전히 안정한 A1$_2$O$_3$로 산화되지 않았기 때문으로 생각되었으며, 그럼에도 불구하고 단일 AlO 절연막 시편보다는 균일하고 치밀한 절연막을 형성하였음을 확인하였다.... -
방전 프라즈마 소결법에 의한 고밀도 TiN의 제조
심광보, 원종한, 김경훈 한국세라믹학회 한국세라믹학회지 6 Pages
한국세라믹학회 한국세라믹학회지 2001, Vol.38 No.6 587-592 (6 pages)
플라즈마 소결법을 적용하여 고밀도 TiN 소결체를 제조하였다. 제조된 TiN 시편의 소결특성 및 입성장 정도를 평가하였으며, 전자현미경을 이용하여 미세구조를 분석하였다. Milling 과정동안 잠입된 $Al_2$O$_3$는 1$700^{circ}C$ 이상의 소결온도에서 TiN 분말과 반응하여 부분적으로 액상을 형성하여 물질이동을 가속화함으로써 치밀화가 저온에서 시작하도록 함으로써 궁극적으로 결정립성장 제어에 기여하는 것으로 확인되었다. 이러한 현상은 굽어진 TiN 결정입계와 결정입계 삼중점에 존재하는 $Al_2$O$_3$를 포함하는 2차 결정상...
