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Absolute phase identification algorithm in a white light interferometer using a cross-correlation of fringe scans
김정곤, Kim. Jeong-Gon 한국센서학회 센서학회지 11 Pages
한국센서학회 센서학회지 2000, Vol.9 No.4 316-326 (11 pages)
(absolute optical path length)를 정확하게 측정할 수 있다. 그리고 제안하는 알고리즘은 간섭 무늬 (fringe scan)의 상호 상관관계 함수 (cross-correlation function)와 가설 검증을 사용한다. 가설 검증은 간섭 무늬의 상호 상관관계 함수가 대칭이 되는 봉우리를 영차 간섭 봉우리 (zero order fringe peak) 후보자로 선정함으로써 영차 간섭 봉우리를 오판할 확률을 줄인다. 산탄잡음(shot noise)이 제안된 알고리즘의 성능에 미치는 영향을 컴퓨터 모의 실험을 통하여 조사하였다. 모의 실험결과와 보외법 (extrapolation)을... -
거친 표면 형상측정을 위한 점광원 절대간섭계의 오차해석과 시스템 변수의 보
김병창, 김승우, Kim. Byoung-Chang, Kim. Seung-Woo 한국광학회 한국광학회지 5 Pages
한국광학회 한국광학회지 2005, Vol.16 No.4 361-365 (5 pages)
표면거칠기가 큰 가공면의 표면형상을 비접촉 고속 측정 하기 위해 고안된 점광원 절대간섭계는 점광원의 위치가 시스템 변수로 정의된다. 시스템 오차인 점광원의 위치 오차가 측정 결과에 미치는 영향을 분석하며, 이를 보정하기 위해 CCD 카메라를 이용한 보정법을 제안한다. 제안된 방법을 검증하기 위해 기준면을 측정하여 측정 정밀도의 향상을 확인하며, 이를 거친 표면형상의 특징을 가진 칩모듈 측정에 적용하였다. 측정 결과 기존의 촉침식 측정기와 $50mm{ ime}50mm$의 영역에서 $9.8{mu}m$의 측정 차이를 보임을 확인하였다. -
아날로그 신호처리를 이용한 백색광 간섭 피크의 검출
예윤해, 이종권, Yeh. Yun-Hae, Lee. Jong-Kwon 한국광학회 한국광학회지 7 Pages
한국광학회 한국광학회지 2005, Vol.16 No.4 319-325 (7 pages)
고속으로 간섭피크의 위치를 찾기 위해 일련의 아날로그 신호처리를 수행하는 백색광간섭(WLI)센서용 신호처리 방식을 고안하고, 이를 WLI 온도센서 시스템에 적용하였다. 새로운 신호처리방식을 적용한 결과 잡음은 $0.019^{circ}C/sqrt{Hz}$로 측정되었으며, 선형성도 우수하였다. 그러나 보상용 간섭계에서의 온도변화가 센서출력의 드리프트로 나타났으며, 현재의 구성에서 드리프트의 온도 의존성은 $1.42{mu}m/^{circ}C$인 것으로 계산되었다. 또한 간섭피크간 간격이 광원의 가간섭길이에 비해 충분히 넓지 않은 경우 간섭무늬... -
멀티레터레이션법을 이용한 절대간섭계의 점광원 위치 결정법
김병창, Kim. Byoung-Chang 제어로봇시스템학회 제어·자동화·시스템공학 논문지 5 Pages
제어로봇시스템학회 제어·자동화·시스템공학 논문지 2006, Vol.12 No.9 856-860 (5 pages)