-
수소 화물 기상 증착법을 이용한 InN 나노 알갱이 성장에 관한 연구
전재원, 이상화, 김진교, Jean. Jai-Weon, Lee. Sang-Hwa, Kim. Chin-Kyo 한국진공학회 韓國眞空學會誌 4 Pages
한국진공학회 韓國眞空學會誌 2007, Vol.16 No.6 479-482 (4 pages)
기상 증착법을 이용하여 [0001] 방향에서 $0.3^{circ}$ 기울어진 사파이어 기판 위에 InN 나노 알갱이를 성장 시켰고, 다양한 성장 조건에 따라 InN 나노 알갱이의 성장이 어떻게 영향 받는지 x-선 산란을 이용하여 연구 하였다. 모든 시료는 암모니아 사전 처리 작업을 한 사파이어 기판 위에 증착하였다. 염화수소 유량, 성장온도, 소스 영역온도에 따라 InN 나노 알갱이의 성장이 영향을 받음을 알 수 있었으며, 갈륨과 인듐을 혼합한 소스를 사용하였음에도 불구하고, 성장 조건에 따라 InN가 성장되지 않는 경우가 있었으며, 이 때는...


전체 선택해제

총

