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초정밀 선반을 사용한 알루미늄 7075와 실리콘의 초정밀가공 특성연구
김우강, 김건희, 원종호, Kim. Woo-Kang, Kim. Kun-Hee, Won. Jong-Ho 한국기계가공학회 한국기계가공학회지 6 Pages
한국기계가공학회 한국기계가공학회지 2006, Vol.5 No.4 27-32 (6 pages)
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마찰력 측정을 이용한 홈(Groove) 및 임의패턴 초정밀 연마판의 특성 비교
노병국, Loh. Byoung-Gook 한국기계가공학회 한국기계가공학회지 6 Pages
한국기계가공학회 한국기계가공학회지 2006, Vol.5 No.4 21-26 (6 pages)
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Al6061-T651의 초정밀 절삭특성에 관한 연구
김건희, 양순철, 박요창, Kim. Geon-Hee, Yang. Sun-Cheol, Park. Yo-Chang 한국기계가공학회 한국기계가공학회지 6 Pages
한국기계가공학회 한국기계가공학회지 2005, Vol.4 No.1 43-48 (6 pages)
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Zerodur의 초정밀 연삭 특성에 관한 연구
김건희, 박요창, Kim. Geon-Hee, Park. Yo-Chang 한국기계가공학회 한국기계가공학회지 5 Pages
한국기계가공학회 한국기계가공학회지 2005, Vol.4 No.1 13-17 (5 pages)
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초정밀 가공기를 이용한 적외선 우주망원경용 렌즈의 절삭가공기술개발
양순철, 김건희, 김효식, 신현수, 홍권희, 유종신, 김동락, 박수종, 남욱원, Yang. Sun-Choel, Kim. Geon-Hee, Kim. Hyo-Sik, Shin. Hyun-Su, Hong. Kweon-Hee, Yoo. Jong-Sin, Kim. 한국기계가공학회 한국기계가공학회지 6 Pages
한국기계가공학회 한국기계가공학회지 2005, Vol.4 No.2 31-36 (6 pages)
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초정밀 반도체 금형 제작을 위한 슈퍼드릴 방전가공기 전극가이드 개발과 미세홀 방전가공
박찬해, 김종업, 왕덕현, 김원일, Park. Chan-Hae, Kim. Jong-Up, Wang. Duck-Hyun, Kim. Won-Il 한국기계가공학회 한국기계가공학회지 7 Pages
한국기계가공학회 한국기계가공학회지 2005, Vol.4 No.3 32-38 (7 pages)
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적외선용 광학소자의 초정밀 절삭특성
원종호, 박원규, 김주환, 김건희, Won. Jong-Ho, Park. Won-Kyoo, Kim. Ju-Hwan, Kim. Geon-Hee 한국기계가공학회 한국기계가공학회지 6 Pages
한국기계가공학회 한국기계가공학회지 2003, Vol.2 No.1 57-62 (6 pages)
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초정밀 인장기용 직류 직권모터의 퍼지제어기 개발
배종일, 정동호, Bae. Jong-Il, Jung. Dong-Ho 한국기계가공학회 한국기계가공학회지 9 Pages
한국기계가공학회 한국기계가공학회지 2003, Vol.2 No.4 73-81 (9 pages)
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대형 비구면의 초정밀 가공을 위한 자동무수차점 방식의 널 렌즈 설계 및 측정 정밀도의 한계에 관한 연구
김길선, 임천석, Kim. Kil-Seon, Rim. Cheon-Seog 한국광학회 한국광학회지 8 Pages
한국광학회 한국광학회지 2005, Vol.16 No.1 71-78 (8 pages)
대형 비구면의 측정을 위하여 자동무수차점 방식의 2매 구성 널 렌즈를 설계하였고, 제작과 정렬 오차에 따른 측정 정밀도의 한계를 이론적으로 분석해 보았다. 측정 정밀도의 한계를 결정짓는 주요한 공차 요소는 널 렌즈면의 불규칙도(irregularity)임을 확인하였으며, 불규칙도의 가공 정도에 따라 5λ/100∼4λ/1000 정도까지의 신뢰할 수 있는 측정 정밀도가 한정지어졌다. 이로써 실제의 정렬 오차 및 널 렌즈 제작오차까지 고려하여 신뢰할 수 있는 정밀도 한계를 제시할 수 있었다. -
고배율 광학현미경의 초정밀 능동 자동초점방법
이호재, 이상윤, 김승우 한국광학회 한국광학회지 11 Pages
한국광학회 한국광학회지 1996, Vol.7 No.2 101-111 (11 pages)
최근들어 반도체 산업의 자동검사장비에 고배율 광학현미경이 많이 사용되고 있다. 이러한 고배율 광학현미경에 있어서 선결과제가 물체를 광학현미경에 사용된 대물렌즈의 초점심도 내에 위치시키는 초점맞춤작업이다. 본 논문에서는 광삼각법을 기본구성으로하고 수광부에 2개의 2분할소자를 사용함으로써 물체의 표면상태에 둔감하면서 물체의 초점오차량에는 매우 민감한 초점오차신호를 만들어줄 수 있는 새로운 자동초점방법을 소개하였다. 얻어진 실험결과에 의하면 이 방법의 신호분해능은 5nm이며, 반복능은 0.5.mu.m이다.