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고온플라즈마를 이용한 폐기물처리기술
최연석, 최갑석, 김한석, Choe. Yeon-Seok, Choe. Gap-Seok, Kim. Han-Seok 재료연구소 機械와 材料 9 Pages
재료연구소 機械와 材料 1995, Vol.7 No.1 50-58 (9 pages)
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반도체 공정에서 배출되는 폭발성가스 처리효율 향상을 위한 플라즈마 토치 형상 개선
최희영, 홍범의, 정철진, 최창식 한국열환경공학회 열환경공학 7 Pages
한국열환경공학회 열환경공학 2016, 제 13권 1호 1 1-7 (7 pages)
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소각재 처리를 위한 플라즈마 용융기술 개발연구
박현서, 신대용, 유병수 한국열환경공학회 열환경공학 9 Pages
한국열환경공학회 열환경공학 2011, 제 8권 1호 6 42-50 (9 pages)
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스팀 플라즈마 가스화 반응기에서 열유동 특성
박현서, 이환노, 유병수, 김철규 한국열환경공학회 열환경공학 7 Pages
한국열환경공학회 열환경공학 2011, 제 8권 2호 5 29-35 (7 pages)
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플라즈마 개질기를 이용한 모사타르 나프탈렌 제거 특성
김성천, 고진환, 전영남 한국열환경공학회 열환경공학 11 Pages
한국열환경공학회 열환경공학 2012, 제 9권 2호 2 9-19 (11 pages)
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플라즈마 토치를 이용한 토양과 소각재 용융특성 연구
한국열환경공학회 열환경공학 2013, 제 10권 2호 2 11-21 (11 pages)
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PFC 가스의 대용량 처리를 위한 플라즈마 토치 기반의 열분해 시스템 개발
최수석, 박동화 한국열환경공학회 열환경공학 9 Pages
한국열환경공학회 열환경공학 2014, 제 11권 1호 9 65-73 (9 pages)
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플라즈마 애싱 공정에 의한 표면미세가공 MEMS 구조물의 변형 분석
김종훈, 황근철, 이백우, 김정길, 김광석, 백창욱, 김용권, 권동일, 김용협, Kim. Jong-Hun, Hwang. Geun-Cheol, Lee. Baek-U, Kim. Jeong-Gil, Kim. Gwang-Seok, Baek. Chang-Uk, Ki 한국항공우주학회 韓國航空宇宙學會誌 10 Pages
한국항공우주학회 韓國航空宇宙學會誌 2003, Vol.31 No.7 53-62 (10 pages)
본 연구에서는 플라즈마 애싱 (plasma ashing) 공정의 영향으로 발생하는 부유된 MEMS(Micro-Electro-Mechanical System) 구조물의 휨 (deflection) 현상을 측정하고 원인을 분석하였다. 휨 현상의 원인을 크게 고온에 의한 열변형, 증착 시 발생하는 두께방향 비등방성, 플라즈마 환경에서의 물리적/화학적 반응으로 인한 조성 및 재질 변화 등으로 구분하여 연구를 수행하였다. 휨 현상의 원인 분석을 위하여 레이저 단차 측정기 (laser profiler), 써모라벨 (thermo label), 미소압입기 (nano-indenter) 및 주사형 오제이 전자 분석기... -
논문 : 플라즈마 애싱 공정에 의한 표면미세가공 MEMS 구조물의 변형 분석
김종훈, 황근철, 이백우, 김정길, 김광석, 백창욱, 김용권, 권동일, 김용협, Kim. Jong-Hun, Hwang. Geun-Cheol, Lee. Baek-U, Kim. Jeong-Gil, Kim. Gwang-Seok, Baek. Chang-Uk, Ki 한국항공우주학회 韓國航空宇宙學會誌 10 Pages
한국항공우주학회 韓國航空宇宙學會誌 2003, Vol.31 No.7 53-62 (10 pages)
본 연구에서는 플라즈마 애싱 (plasma ashing) 공정의 영향으로 발생하는 부유된 MEMS(Micro-Electro-Mechanical System) 구조물의 휨 (deflection) 현상을 측정하고 원인을 분석하였다. 휨 현상의 원인을 크게 고온에 의한 열변형, 증착 시 발생하는 두께방향 비등방성, 플라즈마 환경에서의 물리적/화학적 반응으로 인한 조성 및 재질 변화 등으로 구분하여 연구를 수행하였다. 휨 현상의 원인 분석을 위하여 레이저 단차 측정기 (laser profiler), 써모라벨 (thermo label), 미소압입기 (nano-indenter) 및 주사형 오제이 전자 분석기...
