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고온 플라즈마를 이용한 붕소 함유 나노입자 제조에 관한 연구
신원규, Shin. Weon-Gyu 대한기계학회 大韓機械學會論文集. Transactions of the Korean society of mechanical engineers. B. B 6 Pages
대한기계학회 大韓機械學會論文集. Transactions of the Korean society of mechanical engineers. B. B 2012, Vol.36 No.7 731-736 (6 pages)
열플라즈마 시스템을 이용하여 붕소 함유 나노입자를 제조하기 위한 새로운 방법이 시도되었다. $BCl_3$ 와 $CH_4$ 전구체 기체를 열플라즈마 영역으로 분사하여 고온에서 분해시킨 후, 기체상 응핵 및 성장 과정을 통하여 붕소 또는 붕소 카바이드 입자를 제조하였다. X 선 광분자 분석법을 이용하여 입자 표면의 화학적 결합 상태 및 카바이드와 관련된 B-C 결합 구조 내의 붕소와 탄소의 원자 비율을 측정 및 분석하였다. 또한 나노입자 형상 및 크기 분석을 위해 주사식 투과현미경과 전자에너지손실분광법이 이용되었다. 제조된... -
용액 공정을 통한 도핑된 실리콘 나노입자의 합성과 특성
권하영, 임은희, 이성구, 이경균, Kwon. Ha-Young, Lim. Eun-Hee, Lee. Sung-Koo, Lee. Kyeong-K. 한국공업화학회 공업화학 3 Pages
한국공업화학회 공업화학 2010, Vol.21 No.6 694-696 (3 pages)
용액공정을 이용하여 표면에 알킬기를 도입하고, 붕소(boron) 또는 인(phosphorous)으로 도핑된 실리콘 나노 입자를 합성하였다. 나노 입자의 합성 여부 및 입자크기는 핵자기공명분광기(NMR), 적외선분광기(FT-IR), 자외선가시광선분광기(UV-Vis), 인광분광기(PL)를 이용하여 분석하였다. 마이크로웨이브 소결기를 이용하여 표면의 알킬기를 제거하고, 결정성을 갖는 필름을 제작하였다. 필름의 조각은 $200{mu}m$ 정도의 크기를 가지며 큐빅구조를 가지고 있다는 것을 전자주사현미경(FE-SEM)과 투과전자현미경(FR-TEM)으로 확인할 수...