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텅스텐 CMP에서 디싱 및 에로젼 결함 감소에 관한 연구
박범영, 김호윤, 김구연, 김형재, 정해도, Park. Boumyoung, Kim. Hoyoun, Kim. Gooyoun, Kim. Hyoungjae, Jeong. Haedo 한국정밀공학회 한국정밀공학회지 8 Pages
한국정밀공학회 한국정밀공학회지 2005, Vol.22 No.2 38-45 (8 pages)
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폭발용사에 의한 내에로젼성 서멧 피막 코팅에 관한 연구
김현근, 남인철, 오재환 대한용접접합학회 大韓溶接學會誌 9 Pages
대한용접접합학회 大韓溶接學會誌 2001, Vol.19 No.1 95-103 (9 pages)
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Ne, Ar, Kr 가스를 사용하여 제작한 스퍼터 Gallium 도프 ZnO 박막의 전기적 특성
송풍근, 류봉기, 김광호, Song. Pung-Keun, Ryu. Bong-Ki, Kim. Kwang-Ho 한국세라믹학회 한국세라믹학회지 8 Pages
한국세라믹학회 한국세라믹학회지 2002, Vol.39 No.10 935-942 (8 pages)
Ar, Kr 가스의 다양한 전압(total gas pressure)에서 제작한 GZO 박막에 대하여, 타켓의 에로젼 영역(B영역)과 비에로젼 영역(A영역)에 대향하는 박막 영역의 전기적 특성을 조사했다. 가스 종류와 관계없이 B 영역의 대향부분은 비에로젼 영역과 비교해서, 홀 이동도와 캐리어 밀도의 감소에 의해 상대적으로 높은 비저항값을 보였다. Ne 가스를 사용한 경우, GZO 박막은 가장 높은 비저항값을 나타낸 반면, Kr 가스를 사용하여 제작한 GZO 박막은 상대적으로 가장 낮은 비저항값을 보였다. GZO 박막의 전기적 특성은 박막의 결정성에 크...