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플라즈마 산화시간과 열처리 조건에 따른 터널링 자기저항비의 온도의존특성에 관한 연구
김성훈, 이성래, Kim. Sung-Hoon, Lee. Seong-Rae 한국자기학회 韓國磁氣學會誌 6 Pages
한국자기학회 韓國磁氣學會誌 2004, Vol.14 No.3 99-104 (6 pages)
자기 터널 접합(Magnetic Tunnel Junction, MTJ)의 플라즈마 산화시간과 열처리 온도에 따른 자기저항(Tunneling Magnetoresistance, TMR) 온도의존특성을 연구하였다. 플라즈마 산화시간을 30$_{s}$ 70$_{s}$ 까지 10$_{s}$ 간격으로 변화시켜 측정한 결과, 산화시간 50초에서 상온에서 25.3%의 가장 높은 TMR 비를 얻었다. 스핀 분극도 $P_{0}$ 스핀파 지수(spin wave parameter) $alpha$를 구한 결과, 산화시간 50$_{s}$ 에서 40.3%의 가장 높은 스핀 분극도와 가장 낮은 온도 의존 특성인 (10$pm$4.742)${ imes}$$10^{-6}$... -
NiO 스핀밸브 박막의 Specular Effect에 의한 자기저항비의 향상에 대한 연구
최상대, 주호완, 이기암, Choi. Sang-Dae, Joo. Ho-Wan, Lee. Ky-Am 한국자기학회 韓國磁氣學會誌 4 Pages
한국자기학회 韓國磁氣學會誌 2002, Vol.12 No.6 231-234 (4 pages)
구조를 갖는 바닥층 스핀밸브와 꼭대기층 스핀밸브를 제작하고, NOL의 두께변화에 따른 비저항($ ho$) 값과 비저항의 변화량( $ ho$), 교환결합력(H$_{ex}$), 보자력(H$_{c}$)의 자기적 특성을 연구하였다 NOL로 NiO 03nm의 두께로 삽입한 결과, 최대 자기저항비(magnetoresistance ratio)는 바닥층 스핀밸브에서 12.51%의 얻었으며, 자기저항비의 향상률은 꼭대기층 스핀밸브에서 더 높은 결과를 얻었다. 또한, 두 형태 모두 비저항의 변화량($ ho$)은 거의 일정하였고, 비저항($ ho$)값은 감소하였다 이러한 결과는 NOL의 삽입하였을 때... -
어레이 IrMn 스핀밸브 소자의 자기저항특성 연구
안명천, 최상대, 주호완, 김기왕, 황도근, 이장로, 이상석, Ahn. M.C., Choi. S.D., Joo. H.W., Kim. G.W., Hwang. D.G., Rhee. J.R., Lee. S.S. 한국자기학회 韓國磁氣學會誌 6 Pages
한국자기학회 韓國磁氣學會誌 2007, Vol.17 No.4 156-161 (6 pages)
거대자기저항-스핀밸브(giant magnetoresistive-spin valves; CMR-SV)박막을 제작하였다. 다층박막 시료를 $20{ imes}80{mu}m^2$의 미세 활성영역을 가진 15개 어레이를 $8{ imes}8mm^2$ 영역 내에 최적화한 제작 조건으로 광 리소그래피 패터닝 하였다. Cu를 증착하여 만든 2단자 전극법으로 측정한 자성특성은 15개 모든 소자들이 균일한 자기저항특성을 나타내었고, 5 Oe 근방에서 가장 민감한 자기저항비 자장민감도와 출력전압들은 각각 0.5%/Oe, ${ riangle}$V: 3.9 mV이었다. 형상자기이방성이 적용된 상부 자유층... -
수직자기이방성을 갖는 [Pd/Co] Spin Valve 구조에서 자기저항효과
최진협, 이기암, Choi. Jin-Hyup, Lee. Ky-Am 한국자기학회 韓國磁氣學會誌 5 Pages
한국자기학회 韓國磁氣學會誌 2006, Vol.16 No.3 173-177 (5 pages)
수직자기이방성을 갖는 [Pd/Co] 다층박막으로 구성된 스핀밸브 구조에서 비자성층(space layer, SL) Pd 또는 Cu의 두께와 다층박막의 반복층수 N에 따른 자기저항효과의 의존성을 연구하였다. 비자성층을 Pd보다 Cu로 사용하였을 때 더 큰 자기저항비를 얻었다. 그리고 Cu층과 고정층 사이에 Co층을 삽입하는 경우 약 3배가량 자기저항비가 증가하는 것을 관찰하였다. $Ta_{(2.1nm)}/[Pd_{(0.61)}/Co_{(0.23)}]_4/Cu_{(2.37)}/Co_{(t)}/[Pd_{(0.61)}/Co_{(0.23)}]_2/FeMn_{(10.6)}/Ta_{(2.1)}$ 구조에서 삽입된 Co층의 두께가 0.62nm 또는... -
Co/Pd 다층막구조가 수직자기터널접합의 자기저항에 미치는 영향
김성동, 임동원, 이성래, Kim. Seong-Dong, Lim. Dong-Won, Lee. Seong-Rae 한국자기학회 韓國磁氣學會誌 5 Pages
한국자기학회 韓國磁氣學會誌 2006, Vol.16 No.6 271-275 (5 pages)
다층막의 두께변화가 터널링 자기저항비에 미치는 영향에 대해 조사하였다. Co 전극의 경우 0.5nm 두께 부근에서 최대 자기저항비 값을 얻을 수 있었으며, 이는 터널배리어층 부근의 계면영역이 터널링 스핀분극에 주요한 역할을 하기 때문으로 보인다. 다층막내의 Co층의 두께가 증가함에 따라 자기저항비는 다소 복잡한 거동을 나타내었으며, 이는 Co층의 두께 증가에 따른 수직자기이방성의 변화와 계면거칠기 감소에 따른 접합저항의 감소가 복합적으로 작용하기 때문이다. Pd층의 경우 Co층과는 달리 자기저항변화(${Delta}R$)감소가... -
2차원 자화벡터를 이용한 퍼멀로이 박막의 이방성자기저항 해석
이영우, 호영강, 임재준, 김철기, 김종오, 윤대식, Lee. Young-Woo, Hu. Yong-Kang, Lim. Jae-Joon, Kim. Cheol-Gi, Kim. Chong-Oh, Yoon. Tae-Sick 한국자기학회 韓國磁氣學會誌 5 Pages
한국자기학회 韓國磁氣學會誌 2004, Vol.14 No.4 115-119 (5 pages)
2쌍의 pick-up코일을 이용하여 퍼멀로이 박막의 면내 2차원 자화벡터를 측정하고 이방성자기저항을 조사하였다. 면내의 x, y축 방향의 모멘트를 동시에 측정함으로써 자화벡터를 정확하게 결정하였다. 퍼멀로이 박막의 이방성자기저항은 일축이방성이 증가할수록 전류와 자화벡터의 사잇각의 함수로 표현되는 관계식에 근접한 거동을 나타냈다. 자기저항비 변화는 전류방향에 평행한 y모멘트 성분의 변화와 잘 부합하였으며 y모멘트의 크기에 비례함을 알 수 있었다. -
Ta/NiFe/Cu/Co Pseudo 스핀밸브 구조의 자기저항 효과
주호완, 최진협, 최상대, 이기암, Joo. Ho-Wan, Choi. Jin-Hyup, Choi. Sang-Dae, Lee. Ky-Am 한국자기학회 韓國磁氣學會誌 4 Pages
한국자기학회 韓國磁氣學會誌 2004, Vol.14 No.1 25-28 (4 pages)
스핀밸브 박막을 제작하여 NiFe, Cu, Co 각 층들의 두께변화에 따른 자기저항비(MR-ratio), 보자력, 자기 민감도(sensitivity), 반전자장(Switching Field)의 크기 등의 자기적 특성을 연구하였다. 각 층들의 두께를 변화시키면서 측정한 결과 Ta(4 nm)/NiFe(7.5 nm)/Cu(3 nm)/Co(5 nm)에서 최대 자기저항비 7.26 %를 얻을 수 있었다. 또한 각 층들의 독립적인 자화 과정을 통해 자기저항 특성을 조절할 수 있었다. 특히 Co의 두께를 변화시켜 자기저항비를 비교적 일정하게 유지하면서 보자력의 크기를 조절할 수 있음을 알게 되었다. -
CoFe의 삽입과 산화조건에 따른 자기 터널 접합의 자기저항특성에 관한 연구
이성래, 박병준 한국자기학회 韓國磁氣學會誌 6 Pages
한국자기학회 韓國磁氣學會誌 2001, Vol.11 No.5 196-201 (6 pages)
Si(100)/Ta(50 )/NiFe(60 )/FeMn(250 )/NiFe(70 )/Al$_2$O$_3$/NiFe(150 )/Ta(50 )구조를 가진 자기터널접합의 자기저항비 향상에 관해서 연구하였다. 자성층과 절연층 사이 계면에 CoFe을 삽입하여 5.75%에서 13.7%까지 향상시켰다. 그리고 절연층은 16 의 Al을 순수한 산소 및 산소/아르곤 혼합 분위기에서 프라즈마 산화법으로 형성하였다. 순수한 산소 분위기에서는 최적 산화시간 30초에서 13.7%의 자기저항비를 얻었지만,산소/아르곤의 혼합기체를 사용하면 최적 산화시간 40초에서 15.3%의 자기저항비를 얻었다. -
$[FeNi/Cu/CoFe(Co)/Cu]_N$ Spin-Valve 다층박막의 자기저항 특성
김미양, 이정미, 최규리, 오미영, 이장로 한국자기학회 韓國磁氣學會誌 7 Pages
한국자기학회 韓國磁氣學會誌 1999, Vol.9 No.1 41-47 (7 pages)
CoFe(Co)를 이용하여 buffer;[FeNi/Cu/CoFe(Co)/Cu]N의 형태로 spin-valve 다층박막을 제작하여 자기저항비의 기저층 종류와 두께, 비자성층 Cu층 두께, 연자성층 NiFe층 두께, 사이층 박막 반복 적층횟수, 기판온도 및 열처리 온도 의존성을 조사하였다. 제작된 시료의 자기저항비는 4탐침법으로 측정하였으며 이들의 구조, 자기적 성질을 조사하기 위해 X-선 회절분석, 시료진동형 자기계(VSM) 분석을 하였다. Cr기저층 두께가 50$AA$, Cu 두께 50$AA$, NiFe 및 Co 두께가 각각 20$AA$이며 사이층 박막 반복 적층횟수 10인... -
Buffer 층을 갖는 CoFe/ Cu/ Co 샌드위치 박막의 자기저항 특성
송은영, 오미영, 김경민, 이장로, 김미양, 김희중, 박창만, 이상석, 황도근 한국자기학회 韓國磁氣學會誌 6 Pages
한국자기학회 韓國磁氣學會誌 1997, Vol.7 No.3 146-151 (6 pages)
박막을 제작하고 버퍼층 두께 및 바자성층 Cu층 두께, 자성층 두께 변화에 따른 자기저항비 의존성을 조사하였다. 자기저항비와 포화 자기장( $H_{s}$ )은 버퍼층의 두께가 두꺼워짐에 따라 증가하다가 극대치 3%를 보인 후 완만하게 감소하였다. NiFe, Fe 버퍼층을 갖는 시료를 비교한 경우, 각각 CoFe층과 Co층 사이의 결합 자기장( $H_{int}$)은 큰 차이가 없었으나 NiFe 버퍼층을 갖는 시료가 minor 자기저항 곡선의 반가폭 $H_{w}$ 는 감소하고 자기저항(MR) 기울기(slope)와 관련된 field sensitivity(%/Oe)는 향상되었다.다.