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이온빔 몬테 카를로 시물레이션 프로그램 개발 및 집속 이온빔 공정 해석
김흥배, Kim. Heung-Bae 한국정밀공학회 한국정밀공학회지 8 Pages
한국정밀공학회 한국정밀공학회지 2012, Vol.29 No.4 479-486 (8 pages)
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집속 이온빔 (FIB) 기술 및 응용
이종현, 배남진, 강봉구, 박성호, Lee. Jong-Hyeon, Bae. Nam-Jin, Gang. Bong-Gu, Park. Seong-Ho 한국전자통신연구원 전자통신동향분석 10 Pages
한국전자통신연구원 전자통신동향분석 1987, Vol.2 No.3 55-64 (10 pages)
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집속 이온빔 가공변수에 따른 Au 에칭 특성 연구
박진주, 김성동, Park. J.J., Kim. S.D. 한국공작기계학회 한국공작기계학회논문집 5 Pages
한국공작기계학회 한국공작기계학회논문집 2007, Vol.16 No.5 129-133 (5 pages)
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Cu 기판위에 성장한 MgO, $MgAl_2O_4$와 $MgAl_2O_4/MgO$ 박막의 집속이온빔을 이용한 스퍼터링수율 측정과 이차전자방출계수 측정
정강원, 이혜정, 정원희, 오현주, 박철우, 최은하, 서윤호, 강승언, Jung. K.W., Lee. H.J., Jung. W.H., Oh. H.J., Park. C.W., Choi. E.H., Seo. Y.H., Kang. S.O. 한국진공학회 韓國眞空學會誌 9 Pages
한국진공학회 韓國眞空學會誌 2006, Vol.15 No.4 395-403 (9 pages)
유전체보호막으로 사용되는 MgO 보호막의 특성을 개선하기 위해 $MgAl_2O_4/MgO$ 이중층 보호막을 제작하여 특성을 조사하였다. 전자빔 증착기를 사용하여 Cu 기판에 MgO 와 $MgAl_2O_4$을 각각 $1000AA$ 두께로 증착, $MgAl_2O_4/MgO$ 을 $200/800AA$ 두께로 적층 증착 후, 이온빔에 의한 충전현상을 제거하기 위해 Al 을 $1000AA$ 두께로 증착하였다. 집속 이온빔 (focused ion beam: FIB) 장치를 이용하여 10 kV 에서 14 kV 까지 이온빔 에너지에 따라 MgO는 $0.364{sim}0.449$ 값의 스퍼터링 수율에서 $MgAl_2O_4/MgO$ 을 적층함으로... -
집속이온빔장치와 주사전자현미경을 이용한 박막 트랜지스터 구조불량의 3차원 해석
김지수, 이석열, 이임수, 김재열, Kim. Ji-Soo, Lee. Seok-Ryoul, Lee. Lim-Soo, Kim. Jae-Yeal 한국현미경학회 한국현미경학회지 6 Pages
한국현미경학회 한국현미경학회지 2009, Vol.39 No.4 349-354 (6 pages)
TFT-LCD의 구조불량이 발생한 박막 트랜지스터에 대해서 집속이온빔 가공장치(Dual-beam FIB/SEM)를 이용하여 연속절편법(Serial sectioning)과 일련의 연속적인 2차원 주사전자현미경 이미지를 얻었고, IMOD 소프트웨어를 통해서 3차원 구조구현(3D reconstruction) 연구를 하였다. 3차원 구조구현 결과, Gate막과 Data막이 접합되어 있는 불량이 관찰되었다. 두 막이 접합되어서 ON/OFF 역할을 하는 Gate의 기능이 상실되었고, Data신호는 Drain을 통해서 투명전극에 전류를 공급하여 계속 빛나는 선 불량(line defect)이 발생한 것으로... -
집속이온빔을 이용한 구리 기판위에 성장한 MgO 박막의 스퍼터링 수율
현정우, 오현주, 추동철, 최은하, 김태환, 조광섭, 강승언 한국진공학회 韓國眞空學會誌 7 Pages
한국진공학회 韓國眞空學會誌 2001, Vol.10 No.4 396-402 (7 pages)
전자빔 증착기를 이용하여 1000 $AA$의 두께를 가진 MgO박막을 구리 기판위에 상온에서 증착하였다. 스퍼터링수율 측정시 MgO 층에 충전현상을 없애주기 위해서 1000 $AA$ 두께의 Al을 증착하였다. 갈륨 액체금속을 집속이온빔 이온원으로 사용하였다. 두 개의 정전렌즈를 사용하여 이온빔을 집속하였고, MgO에 이온빔을 주사하기 위해 편향기를 사용하였다. 가속전압의 변화에 따라 시료대 전류와 이차입자 전류를 측정하였고, 이 전류값은 소스에 인가하는 가속전압에 따라 변화되었다 MgO 박막의 스퍼터링 수율은 분석된 시료대 전류,... -
집속이온빔을 이용한 마이크로/나노스케일에서의 실리콘 금형 가공 특성
김흥배, 노상래, Kim. Heung-Bae, Noh. Sang-Lai 한국정밀공학회 한국정밀공학회지 9 Pages
한국정밀공학회 한국정밀공학회지 2011, Vol.28 No.8 966-974 (9 pages)
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유도결합형 플라즈마 소스를 이용한 집속 이온빔용 가스 이온원 개발
이승훈, 김도근, 강재욱, 김태곤, 민병권, 김종국, Lee. Seung-Hun, Kim. Do-Geun, Kang. Jae-Wook, Kim. Tae-Gon, Min. Byung-Kwon, Kim. Jong-Kuk 한국정밀공학회 한국정밀공학회지 5 Pages
한국정밀공학회 한국정밀공학회지 2011, Vol.28 No.1 19-23 (5 pages)
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집속이온빔을 이용한 탄소나노튜브 팁의 조작
윤여환, 박준기, 한창수, Yoon. Yeo-Hwan, Park. June-Ki, Han. Chang-Soo 한국정밀공학회 한국정밀공학회지 6 Pages
한국정밀공학회 한국정밀공학회지 2006, Vol.23 No.12 122-127 (6 pages)
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갈륨 소스를 이용한 집속이온빔 컬럼 개발
김창조, 이재승, 최윤, 최은하, 박철우, 김종국, 김영권, 엄창용, Gim. Tzang-Jo, Lee. Jae-Seung, Choi. Yoon, Choi. Eun-Ha, Park. Chul-Woo, Kim. Jong-Kuk, Kim. Young-Gweo 대한기계학회 大韓機械學會論文集. Transactions of the Korean Society of mechanical engineers. A. A 5 Pages
대한기계학회 大韓機械學會論文集. Transactions of the Korean Society of mechanical engineers. A. A 2009, Vol.33 No.3 185-189 (5 pages)