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초임계 이산화탄소를 이용한 웨이퍼의 건식 식각에서 알콜 첨가제의 효과
김도훈, 장명재, 임권택, Kim. Do-Hoon, Jang. Myoung-Jae, Lim. Kwon-Taek 한국청정기술학회 청정기술 7 Pages
한국청정기술학회 청정기술 2012, Vol.18 No.3 280-286 (7 pages)
초임계 이산화탄소를 이용하여 희생 $SiO_2$층에 대한 건식 식각 실험을 진행하였다. HF/pyridine (HF/py) 식각액과 알콜 첨가제를 사용하여 이중 챔버 시스템 방식으로 boron phosphor silica glass (BPSG), tetraethyl orthosilicate (TEOS), thermal $SiO_2$와 Si-nitride (SiN)의 박막 층에 대한 식각 성능을 조사하였다. 메탄올의 첨가에 의하여 실리카 희생막에 대한 HF/py의 식각률이 높아지는 것을 확인할 수 있었다. BPSG를 제외하고는 메탄올이 가장 높은 식각률을 보여줬지만, BPSG의 SiN에 대한 식각 선택비는 이소프로판올이...