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Additive Process Using Femto-second Laser for Manufacturing Three-dimensional Nano/Micro-structures
Yang. Dong-Yol, Lim. Tae-Woo, Son. Yong, Kong. Hong-Jin, Lee. Kwang-Sup, Kim. Dong-Pyo, Park. Sang-Hu 한국정밀공학회 International journal of precision engineering and manufacturing 7 Pages
한국정밀공학회 International journal of precision engineering and manufacturing 2007, Vol.8 No.4 63-69 (7 pages)
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Femto Second Laser Pulse에 의한 유리의 결정화 및 기계적 특성
차재민, 문필용, 김동현, 박성제, 조성학, 류봉기, Cha. Jae-Min, Moon. Pil-Yong, Kim. Dong-Hyun, Park. Sung-Je, Cho. Sung-Rak, Ryu. Bong-Ki 한국세라믹학회 한국세라믹학회지 7 Pages
한국세라믹학회 한국세라믹학회지 2005, Vol.42 No.6 377-383 (7 pages)
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Laser Microfabrication for Silicon Restrictor
Kim. Kwang-Ryul, Jeong. Young-Keun 한국분말야금학회 한국분말야금학회지 7 Pages
한국분말야금학회 한국분말야금학회지 2008, Vol.15 No.1 46-52 (7 pages)
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펨토초 레이저를 이용한 평판 디스플레이 유리기판 절단 연구
김광열, Kim. Kwang-Ryul 한국재료학회 한국재료학회지 6 Pages
한국재료학회 한국재료학회지 2008, Vol.18 No.5 247-252 (6 pages)
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펨토초 레이저 어블레이션을 이용한 Si 웨이퍼의 미세 관통 홀 가공
김주석, 심형섭, 이성혁, 신영의, Kim. Joo-Seok, Sim. Hyung-Sub, Lee. Seong-Hyuk, Shin. Young-Eui 한국마이크로전자및패키징학회 마이크로전자 및 패키징 학회지 8 Pages
한국마이크로전자및패키징학회 마이크로전자 및 패키징 학회지 2007, Vol.14 No.3 29-36 (8 pages)
본 논문에서는 펨토초 레이저를 사용하여 정밀하고 효과적인 레이저 어블레이션 작업이 가능한지를 확인하기위한 수치 해석 및 가공 작업을 수행하였다. 이를 위하여 Si 재료 내부의 에너지 전달 메커니즘에 대한 수치해석을 실시하였으며, Si 웨이퍼에 각각 다른 조건으로 적용된 레이저 플루언스 값으로 $100;{mu}m$ 직경의 미세 관통 홀을 형성한 후, 광학현미경과 3차원 표면 형상 측정 장비를 사용하여 형성된 미세 관통 홀의 가공성과 열영향부의 발생 정도를 관찰하고 분석하였다. 실험 결과를 통해 레이저 플루언스 조건에 따른... -
펨토초 레이저의 이송속도에 따른 Invar 합금의 어블레이션 특성
정일영, 강경호, 김재도, 손익부, 노영철, 이종민, Chung. Il-Young, Kang. Kyung-Ho, Kim. Jae-Do, Sohn. Ik-Bu, Noh. Young-Chul, Lee. Jong-Min 한국정밀공학회 한국정밀공학회지 7 Pages
한국정밀공학회 한국정밀공학회지 2009, Vol.26 No.3 25-31 (7 pages)
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나노 복화공정의 역방향 적층법을 이용한 직접적 나노패턴 생성에 관한 연구
박상후, 임태우, 양동열, 공홍진 한국정밀공학회 한국정밀공학회지 7 Pages
한국정밀공학회 한국정밀공학회지 2004, Vol.21 No.6 153-159 (7 pages)


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