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플라즈마 애싱 공정에 의한 표면미세가공 MEMS 구조물의 변형 분석
김종훈, 황근철, 이백우, 김정길, 김광석, 백창욱, 김용권, 권동일, 김용협, Kim. Jong-Hun, Hwang. Geun-Cheol, Lee. Baek-U, Kim. Jeong-Gil, Kim. Gwang-Seok, Baek. Chang-Uk, Ki 한국항공우주학회 韓國航空宇宙學會誌 10 Pages
한국항공우주학회 韓國航空宇宙學會誌 2003, Vol.31 No.7 53-62 (10 pages)
인한 조성 및 재질 변화 등으로 구분하여 연구를 수행하였다. 휨 현상의 원인 분석을 위하여 레이저 단차 측정기 (laser profiler), 써모라벨 (thermo label), 미소압입기 (nano-indenter) 및 주사형 오제이 전자 분석기 (Scanning Auger Microprobe System) 와 같은 다양한 장비를 사용하여 측정을 수행하였다. 측정 결과로 도출된 정량적 데이터로부터 MEMS 구조물의 잔류 응력을 평가하기 위하여 해석 모델 (analysis model)을 구성하였다. 측정된 자료를 토대로 열변형, 두께방향 비등방성, 표면 재질 변화 등이 MEMS 구조물의 휨... -
논문 : 플라즈마 애싱 공정에 의한 표면미세가공 MEMS 구조물의 변형 분석
김종훈, 황근철, 이백우, 김정길, 김광석, 백창욱, 김용권, 권동일, 김용협, Kim. Jong-Hun, Hwang. Geun-Cheol, Lee. Baek-U, Kim. Jeong-Gil, Kim. Gwang-Seok, Baek. Chang-Uk, Ki 한국항공우주학회 韓國航空宇宙學會誌 10 Pages
한국항공우주학회 韓國航空宇宙學會誌 2003, Vol.31 No.7 53-62 (10 pages)
인한 조성 및 재질 변화 등으로 구분하여 연구를 수행하였다. 휨 현상의 원인 분석을 위하여 레이저 단차 측정기 (laser profiler), 써모라벨 (thermo label), 미소압입기 (nano-indenter) 및 주사형 오제이 전자 분석기 (Scanning Auger Microprobe System) 와 같은 다양한 장비를 사용하여 측정을 수행하였다. 측정 결과로 도출된 정량적 데이터로부터 MEMS 구조물의 잔류 응력을 평가하기 위하여 해석 모델 (analysis model)을 구성하였다. 측정된 자료를 토대로 열변형, 두께방향 비등방성, 표면 재질 변화 등이 MEMS 구조물의 휨... -
Highly Productive Process Technologies of Cantilever-type Microprobe Arrays for Wafer Level Chip Testing
Lim. Jae-Hwan, Ryu. Jee-Youl, Choi. Woo-Chang 한국전기전자재료학회 Transactions on electrical and electronic materials 4 Pages
한국전기전자재료학회 Transactions on electrical and electronic materials 2013, Vol.14 No.2 63-66 (4 pages)
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SiOG 공정을 이용한 고 신뢰성 MEMS 자이로스코프
이문철, 강석진, 정규동, 좌성훈, 조용철, Lee. Moon Chul, Kang. Seok Jin, Jung. Kyu Dong, Choa. Sung-Hoon, Cho. Yang Chul 한국마이크로전자및패키징학회 마이크로전자 및 패키징 학회지 10 Pages
한국마이크로전자및패키징학회 마이크로전자 및 패키징 학회지 2005, Vol.12 No.3 187-196 (10 pages)
MEMS에서 제조 공정 오차 및 외부 응력은 진동형 자이로스코프와 같은 MEMS 소자의 제조 수율에 많은 영향을 미친다. 특히 비연성 진동형 자이로스코프의 경우 감지모드와 구동모드의 주파수 차의 특성은 수율에 직접적인 영향을 미친다. SOI (Silicon-On-Insulator) 공정 및 양극접합 공정으로 패키징된 자이로스코프의 경우, 노칭현상으로 인하여 구조물이 불균일하게 가공되며, 동시에 열팽창계수 차로 인하여 접합된 기판에 큰 휨이 발생한다. 그 결과주파수 차의 분포가 커지고, 동시에 수율은 저하되었다. 이를 개선하기 위하여... -
Fabrication and Characterization of Silicon Probe Tip for Vertical Probe Card Using MEMS Technology
Kim. Young-Min, Yu. In-Sik, Lee. Jong-Hyun 대한전기학회 KIEE international transactions on electrophysics and applications 6 Pages
대한전기학회 KIEE international transactions on electrophysics and applications 2004, No.0 149-154 (6 pages)
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Fabrication and evaluation of various types of micro one-way valves through micro rubber molding process
Uohashi. Yuki, Suzumori. Koichi, Taniguchi. Hironari 대한기계학회 Journal of mechanical science and technology 4 Pages
대한기계학회 Journal of mechanical science and technology 2010, Vol.24 No.1 219-222 (4 pages)
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환경 적응적 스마트폰 사용자 인증 기법
최동민(Dongmin Choi) 인문사회과학기술융합학회 예술인문사회융합멀티미디어논문지 11 Pages
인문사회과학기술융합학회 예술인문사회융합멀티미디어논문지 2018, 제 8권 제 3호 87 933-943 (11 pages)
본 연구에서 우리는 기존의 스마트폰 사용자 인증 기법에 대해 종류별로 분석하며 이들 중 대중적 인 몇 가지 기법을 선정하여 보안 안전성, 그리고 사용자 편의성 측면에서 분석한다. 이후 스마트폰 에 적용되는 인증 기법 현황과 방향, 그리고 스마트폰을 가격대별로 분류하여 각각에 대해 인증 기법 의 적용 가능성 여부에 대해 분석한다. 이후 우리는 사용자 스마트폰에 적용되어 있는 기능과 환경을 능동적으로 분석, 고려하여 최대한의 보안성과 최대한의 사용자 편의성을 보장하는 인증 기법을 선택 하여 사용할 수 있게 하는 환경... -
Preparation of photoresist-derived carbon micropatterns by proton ion beam lithography and pyrolysis
Hui-Gyun Nam, Jin-Mook Jung, In-Tae Hwang, Junhwa Shin, Chang-Hee Jung, Jae-Hak Choi 한국탄소학회 Carbon Letters 7 Pages
한국탄소학회 Carbon Letters 2017, Vol.24 8 55-61 (7 pages)
Carbon micropatterns (CMs) were fabricated from a negative-type SU-8 photoresist by proton ion beam lithography and pyrolysis. Well-defined negative-type SU-8 micropatterns were formed by proton ion beam lithography at the optimized fluence of 1×1015 ions cm?2 and then pyrolyzed to form CMs. The crosslinked network structures formed by proton irradiation were converted to pseudo-graphitic structures by pyrolysis. The fabricated CMs showed a good electrical conductivity of 1.58×102 S cm?1 and a...
