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2중 알루미늄 전극구조의 Charge Coupled Device를 이용한 저역 여파기
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  • 2중 알루미늄 전극구조의 Charge Coupled Device를 이용한 저역 여파기
저자명
신윤승,김오현
간행물명
電子工學會誌
권/호정보
1981년|18권 3호|pp.25-34 (10 pages)
발행정보
대한전자공학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

전하결합소자(charge coupled device)의 제작에 필요한 다중전극구조를 실현하기 위하여 알루미늄양극산화방법을 실험적으로 조사하였다. 양극산화의 전해질용액으로 2% ammonium tartrate를 사용하고, 산화전압을 30∼35 volt로 하여 2시간 정도 산화할 때 형성되는 Al2O3의 두께는 400∼500A이었고 절연파괴전압은 30volt 정도였다. 이와 같은 Al2O3의 성질을 이용하여 CCD transversal 저역여파기를 제작하였다. 17개의 tap coefficient를 갖는 저역파기의 stop band attenuation은 약 22dB 이었으며 사용가능한 주파수 범위는 3 KHz로부터 100KHz까지였다.

기타언어초록

Aluminum anodization method has been investigated for fabricating charge coupled device(CCD) with two-level aluminum gate structure. Al2O3 films were formed to a thickness of 400-500A, by anodizing aluminum with 30-35V of anode voltage for 2 hours using 2 % ammonium tartrate solution as an electrolyte. Breakdown voltage of these films were about 30 volts. Using above mentioned Al2O3 film as an insulator between two aluminum electrodes, CCD transversal low pass filter has been fabricated. CCD transversal low pass filter with 17 tap coefficients has shown 22 dB stop-band attenuation. The operating clock frequency range of the fabricated device was from 3 KHz to 100 KHz.