- SONOS 구조의 EAROM Cell제조 및 그 전기적 특성에 관한 연구
- ㆍ 저자명
- 정곤,정호선
- ㆍ 간행물명
- 電子工學會誌
- ㆍ 권/호정보
- 1985년|22권 6호|pp.83-88 (6 pages)
- ㆍ 발행정보
- 대한전자공학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
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An electrically alterable read only memory with polysilicon gate is experimently realized employing a SONOS structure. The SONOS memory cells are proposed to achieve lower programming voltage with thin nitride (70A, 170$AA$) layer. Its programming voltage is 10V (Tnit=70$AA$), 22V(Tnit=170$AA$). And the SONOS cell is able to, erasc biasing negative gate pulse, then its voltage is about -24V for nitride thickness of 170$AA$.