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SONOS 구조의 EAROM Cell제조 및 그 전기적 특성에 관한 연구
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  • SONOS 구조의 EAROM Cell제조 및 그 전기적 특성에 관한 연구
저자명
정곤,정호선
간행물명
電子工學會誌
권/호정보
1985년|22권 6호|pp.83-88 (6 pages)
발행정보
대한전자공학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

An electrically alterable read only memory with polysilicon gate is experimently realized employing a SONOS structure. The SONOS memory cells are proposed to achieve lower programming voltage with thin nitride (70A, 170$AA$) layer. Its programming voltage is 10V (Tnit=70$AA$), 22V(Tnit=170$AA$). And the SONOS cell is able to, erasc biasing negative gate pulse, then its voltage is about -24V for nitride thickness of 170$AA$.