- 반도체분야에 있어서 고융점 Metal-Silicide기술과 그 활용현황 (I)
- ㆍ 저자명
- 성만영,박영진
- ㆍ 간행물명
- 전기학회지= The Processing of the Institute of Electrical Engineers
- ㆍ 권/호정보
- 1986년|35권 8호|pp.483-492 (10 pages)
- ㆍ 발행정보
- 대한전기학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
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