- 반도체제조의 생산성 제고를 위한 반도체 공정 주변기술
- ㆍ 저자명
- 이용일,배남진,Lee. Yong-Il,Bae. Nam-Jin
- ㆍ 간행물명
- 전자통신동향분석
- ㆍ 권/호정보
- 1988년|3권 1호|pp.53-64 (12 pages)
- ㆍ 발행정보
- 한국전자통신연구원
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
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소자의 집적도가 향상됨에 따라 공정조건 제어의 중요성이 부각되고 있다. 따라서 제조환경의 엄격한 제어가 요구되고, 사용되는 화학약품 및 탈이온수의 순도가 중요해지고 있다. 즉, 반도체 제조공정의 주변기술에 대한 중요성이 높아지는 추세이다. 본고에서는 이러한 주변기술의 발전동향에 대해 간략하게 기술하였다.