- ECR 플라즈마를 이용한 반도체 공정기술
- ㆍ 저자명
- 박성호,강봉구,Park. Seong-Ho,Kang. Bong-Koo
- ㆍ 간행물명
- 전자통신동향분석
- ㆍ 권/호정보
- 1988년|3권 2호|pp.37-56 (20 pages)
- ㆍ 발행정보
- 한국전자통신연구원
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
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ECR 플라즈마는 활성도가 크고 지향성이 강한 고에너지 빔으로서, 고속.고정밀.고 선택비의 식각공정과, 저온.저손상.고 평탄화의 증착공정, 3차원 구조에도 불순물을 원하는 깊이만큼 도우핑할 수 있는 불순물 주입공정 등에 폭넓게 응용될 수 있다.