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아날로그/디지탈 회로 구성에 쓰이는 BCDMOS소자의 제작에 관한 연구
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  • 아날로그/디지탈 회로 구성에 쓰이는 BCDMOS소자의 제작에 관한 연구
저자명
박치선,Park. Chi-Sun
간행물명
전자공학회논문지
권/호정보
1989년|26권 1호|pp.62-68 (7 pages)
발행정보
대한전자공학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
서지반출

기타언어초록

본 논문에서는 아날로그/디지탈 회로 구성시 입출력부는 바이폴라 소자로 내부의 논리회로 부분은 CMOS 소자로 높은 내압을 요구하는 부분에는 DMOS 소자를 이용할 수 있는, BCDMOS 공정 기술개발을 하고자 하였다. BCDMOS 제작 공정은 폴리게이트 p-well CMOS 공정을 기본으로 하였고, 소자설계의 기본개념은 공정흐름을 복잡하지 않게 하면서 바이폴라, CMOS, DMOS 소자 각각의 특성을 좋게하는데 두었다. 실험결과로서 바이폴라 npn 트랜지스터의 $h_{FE}$ 특성은 320(Ib-$10{mu}A$)정도이며, CMOS 소자에서는 n-채자에서는 항복전압이 115V이상의 특성을 얻을 수 있었다.

기타언어초록

In this paper, Analog/Digital BCDMOS technology that the bipolar devices for driver applications CMOS devices for logic applications, and DMOS devices for high voltage applications is pressented. An optimized poly-gate p-well CMOS process is chosen to fabricate the BCDMOS, and the basic concepts to desigh these devices are to improve the characteristics of bipolar, CMOS & DMOS with simple process technology. As the results, $h_{FE}$ value is 320 (Ib-$10{mu}A$ for bipolar npn transistor, and there is no short channel effects for CMOS devices which have Leff to $1.25{mu}m$ and $1.35{mu}m$ for n-channel and p-channel, respectively. Finally, breakdown voltage is obtained higher than 115V for DMOS device.