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Characterization of Cordierite by SEM, Microanalysis X and TEM
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  • Characterization of Cordierite by SEM, Microanalysis X and TEM
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저자명
Han. Byoung-Sung
간행물명
전자공학회논문지
권/호정보
1990년|27권 8호|pp.1250-1254 (5 pages)
발행정보
대한전자공학회
파일정보
정기간행물|ENG|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

The cordierite (MgO, SiO2, Al2O3) is of great interest for microelectronic packaging of integrated circuits. Its main advantages are low dielectric constant and low thermal expansion. The cordierite precursor is obtained by sol-gel synthesis using organic and inorganic compounds. The obtained cordierite precursor is an amorphous state at about 900ulcorner. Green and fired cordierite samples were studied by SEM. Microanalysis X and TEM for microscopic properties. The fired cordierite shows forte diminution of Mg in comparison with its value at volume and the deficit of Mg compensates by sugmentation of Al and Si ulcornercordierite and ulcornercordierite are present near the surface (< 100) and small quantities of magnesium aluminate (MgAl2O4)is presented spinnel phase.