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졸겔 스핀 코팅에서 질산촉매가 티탄산연 박막의 물성에 미치는 영향
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  • 졸겔 스핀 코팅에서 질산촉매가 티탄산연 박막의 물성에 미치는 영향
저자명
이전국,정형진,김종희
간행물명
요업학회지
권/호정보
1991년|28권 11호|pp.859-864 (6 pages)
발행정보
한국세라믹학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

High quality lead titanate thin films were fabricated by spin coating on a silicon substrate. The resulting dried gel layers were uniform in thickness through 2$ imes$2 $ extrm{cm}^2$ area, and polycrystalline perovskite structures developed almost crack free with a heat treatment above 50$0^{circ}C$ in films with thickness above 360 nm. Metastable pyrochlore structures were observed in films with thickness of 160 nm when heat treated at 500 and $600^{circ}C$, but these structure did not appear in films with thickness of 360 nm. The thickness dependence in crystal structure of films was studied. by varying the substrate condition and analyzing the interface between the film and substrate. In native oxide films on silicon stbstrates, amorphous dried gel layers were heterogeneously nucleated. Metastable cubic pyrochlore structure could be crystallized in amorphous native oxide.