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Laser Ablation에 의하여 $LaAlO_3$(100) 기판 위에 증착된 Y-Ba-Cu-O 박막에 대한 연구
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  • Laser Ablation에 의하여 $LaAlO_3$(100) 기판 위에 증착된 Y-Ba-Cu-O 박막에 대한 연구
저자명
조윌렴,이규철,고도경,이헌주,노태원,김정구,허필화
간행물명
요업학회지
권/호정보
1991년|28권 12호|pp.1005-1011 (7 pages)
발행정보
한국세라믹학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

Y-Ba-Cu-O thin films were in-situ fabricated on LaAlO3(100) substrates using the second harmonics of a pulsed Nd:YAG laser. Thin films were deposited under 200 (mtorr) of oxygen atmosphere, when the substrate temperature was changed between 67$0^{circ}C$ and 82$0^{circ}C$. After deposition, the films were in-situ annealed at 50$0^{circ}C$ under 2/3 bar of oxygen pressure. We showed that the deposition temperature affects the formation of superconducting phase, the resistance, and the surface morphology. The Y-Ba-Cu-O thin films deposited at 76$0^{circ}C$ show the zero resistance critical temperature of 85 K.