- 푸리에 변환 적외선 분광분석에 의한 에피층의 두께 측정 기술
- ㆍ 저자명
- 정성화,김상기,권오준,Jeong. Seong-Hwa,Kim. Sang-Gi,Kwon. Oh-Joon
- ㆍ 간행물명
- 전자통신
- ㆍ 권/호정보
- 1991년|13권 2호|pp.54-61 (8 pages)
- ㆍ 발행정보
- 한국전자통신연구원
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
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에피택시층의 두께는 푸리에변환적외선분광분석(FTIR)을 이용하여 간단하고 비파괴적으로 측정할 수 있음이 알려져 있다. 본고에서는 측정법의 기본적인 배경을 살펴보고 실제 시편의 측정결과를 제시하며 본 두께 측정법의 적용 가능성 및 문제점에 대해 논의한다.