본 연구에서는 정밀진동 측정에 사용하기 위한 압전형 가속도계의 설계 제작 기술과 가속도계의 특성평가 기술을 개발하는데 주안점을 두고 세가지 크기의 가속도 계 9개를 설계 제작하여 특성평가를 하였다. 제작된 압전형 가속도계는 압축형(com- pression type)으로 산업체 현장에서 수요가 많은 40gram 정도의 무게를 가진 중형급 이면서 사용주파수 범위가 20kHz 이상인 실용적인 진동측정용 센서가 되도록 하였다. 개발된 가속도계의 성능을 평가하기 위해서 가속도계의 대표적인 특성인자인 운동방 향에 대한 감도, 선형성, 횡방향 감도 및 음압감도를 측정하여 기존의 가속도계와 비 교하였다.
The sensor technology has becoming emerging area as the automation process in industry requires higher productivity, better quality, and the reliability. In this research, the dynamic measuring sensor such as piezoelectric accelerometers has been developed. Especially, the research concentrates on a design methodology, an analysis of the structural characteristics, and a method of the performance evaluation. The fabricated piezoelectric accelerometers show that the performance characteristics is better than commercial products available in the current market.
