- 효율적 균일 방전을 위한 레이저 전극 형상 비교
- ㆍ 저자명
- 김동환,주홍,최상삼
- ㆍ 간행물명
- 한국광학회지
- ㆍ 권/호정보
- 1992년|3권 2호|pp.133-136 (4 pages)
- ㆍ 발행정보
- 한국광학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
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엑시머 레이저나 TEA $Co_2$ 레이저로응용되는 균일 방전을 위한 전극 형상 설계에 중됴한 k 값과 전극의 크기에 고려되는 최소 허용 전기장의 위치와의 관계를 Chnag 형상과 Ernst 형상에 대해 각각 계산, 비교하였다. 이 결과는 전극 형상 설계에 있어서 초기 k 값 설정에 도움표를 제공한다. 전극 표면에서 각각의 전기장 세기를 비교하여 Ernst 형상이 Chang형상보다 2배내지 3배 정도로 균일 전기장 분포가 넓게 설계될 수 있음을 보였다.
Calculation and comparison of the design parameter between Chang and Ernst profile that can be used for the uniform discharge in excimer or TEA $Co_2$ laser are carried out. This result can be used to establish the initial $kappa$-value in the design of electron. Also, calculation shows that Ernst profile is 2-3 times superior to Chang profile in uniformity of electric field with respect to the same k-value ($0.001lekappale0.25$).