Characterization of Surface Oxides in Gold Thin Films with V- and Ti- underlays by AES and XPS

Characterization of Surface Oxides in Gold Thin Films with V- and Ti- underlays by AES and XPS
Characterization of Surface Oxides in Gold Thin Films with V- and Ti- underlays by AES and XPS

ㆍ 저자명: Kim. Jin -Young
ㆍ 간행물명: 韓國眞空學會誌
ㆍ 권/호정보: 1992년|1권 1호|pp.100-105 (6 pages)
ㆍ 발행정보: 한국진공학회
ㆍ 파일정보: 정기간행물|ENG|
PDF텍스트
ㆍ 주제분야: 기타

이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.

서지반출

영문초록

Au/V, Au/Ti의 이중구조 박막을 대기 중에서 $500^{circ}C$에서 열처리한 후 Auger electron spectroscopy(AES)와 X-ray photoelectron spectroscepy(XPS)를 이용하여 분석 하였다. 열처리 과정에서 Au와 SiO2 기판 사이의 V-와 Ti- 하층박막은 Au 표면 위에 산화 물을 형성하였다. 산화물의 화학조성은 Au/V, Au/Ti 박막에서 V2O5와 TiO2로 각각 판명되었다.

기타언어초록

Auger electron spectroscopy (AES) and X-ray photoelectron spectroscopy (XPS) analyses have been performed on double-structured Au/V and Au/Ti thin films after heat treatment at 500$^{circ}$C in air. V- and Tiunderlays sandwiched between gold thin films and SiOz substrates form oxides on the free surface of gold films during the heat treatment. The chemical compositions of the oxides were identified as V205 and TiOz in Au/V and Au/Ti thin films, respectively.

다운URL