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다층 Panel Cryoarray를 갖는 Cryopump의 Pumping 특성해석
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  • 다층 Panel Cryoarray를 갖는 Cryopump의 Pumping 특성해석
저자명
이진원,이영규,최헌오
간행물명
韓國眞空學會誌
권/호정보
1992년|1권 3호|pp.323-331 (9 pages)
발행정보
한국진공학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

다층 panel형 cryoarray를 갖는 원통형 cryopump의 정적 pumping 특성을 view factor를 이용한 수치적 방법으로 해석하였다. 해석모델은 단순 원판을 기본으로 하고, 여기 에 상향 및 하향의 skirt를 부착한 실질적 array를 대상으로 하였으며, 형상, 크기 및 panel 개수를 변화시키면서 array 전체의 총 pumping 효율과 array 내의 pumping 속도 분포를 모두 구하였다. 다층 panel array에서도 single panel의 경우와 같이 type III 개스(He, H2) 에 있어서는 pumping 효율을 최대로 하는 최적의 크기가 있으며, panel 수효가 증가하면 pumping 속도는 약간만 증가하나 총 pumping 용량은 이에 비례하여 증가한다. Skirt의 각 도를 상향으로 변화시키면 type III 개스의 상대적 pumping 속도가 증가되며 type II 개스에 의한 cryosorbent의 오염도는 대략 10% 정도이다.