- 박막의 전기적 특성평가를 위한 측정 시스템의 구성 및 자동화
- ㆍ 저자명
- 구경완,황문수,천희곤
- ㆍ 간행물명
- 韓國眞空學會誌
- ㆍ 권/호정보
- 1992년|1권 3호|pp.371-375 (5 pages)
- ㆍ 발행정보
- 한국진공학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
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Low cost, PC controlled electrical property measurement systems were constructed to study thin film characteristics such as ; I-V, C-V, C-t, and low current. In addition, a GPIB card and C language program for data control and analysis were made for this study.