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Chemical Bath Deposition 방법으로 제작한 CdSe 박막의 특성
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  • Chemical Bath Deposition 방법으로 제작한 CdSe 박막의 특성
저자명
홍광준,이상열,유상하,서상석,문종대,신영진,정태수,신현길,김택성,송정훈,유기수,Hong. K.J.,Lee. S.Y.,You. S.H.,Suh. S.S.,Moon. J.D.,Shin. Y.J.,Jeong. T.S.,Shin. H.K
간행물명
센서학회지
권/호정보
1993년|2권 1호|pp.81-86 (6 pages)
발행정보
한국센서학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

Chemical bath deposition 방법으로 다결정 CdSe 박막을 세라믹 기판 위에 성장시킨 다음 온도를 변화시켜 열처리하고 X-선 회절무늬를 측정하여 결정구조를 밝혔다. $450^{circ}C$로 열처리한 시료가 X-선 회절무늬로 부터 외삽법에 의해 $a_{o}$와 $c_{o}$는 각각 $4.302{AA}$과 $7.014{AA}$인 육방정계임을 알았다. 이 때 낱알크기는 약 $0.3{mu}m$이었다. Van der Pauw 방법으로 Hall 효과를 측정하여 운반자 농도와 이동도의 온도의존성을 연구하였다. 이동도는 33 K에서 200 K까지는 압전산란에 의하여, 200K에서 293 K까지는 극성광학산란에 의하여 감소하는 경향을 나타냈다. 광전도 셀의 특성으로 스텍트럼 응답, 감도(${gamma}$), 최대허용소비전력 및 응답 시간을 측정하였다.

기타언어초록

Polycrystalline CdSe thin films were grown on ceramic substrate using a chemical bath deposition (CBD) method. They were annealed at various temperature and X-ray diffraction patterns were measured by X-ray diffractometer in order to study CdSe polycrystal structure. Using extrapolation method of X-ray diffraction patterns for the CdSe samples annealed in $N_{2}$ gas at $450^{circ}C$ it was found hexagonal structure whose lattice parameters $a_{o}$ and $c_{o}$ were $4.302{AA}$ and $7.014{AA}$, respectively. Its grain size was about $0.3{mu}m$. Hall effect on this sample was measured by Van der Pauw method and studied on carrier density and mobility depending on temperature. From Hall data, the mobility was likely to be decreased by piezo electric scattering at temperature range of 33 K and 200 K, and by polar optical scattering at temperature range of 200 K and 293 K. We measured also spectral response, sensitivity (${gamma}$), maximum allowable power dissipation and response time on these samples.