마이크로머신의 기술은 빠른 속도로 진보되고 있으며 광학관계를 비롯해서 생명, 유체, 표면과학 등에의 응용도 유망하고 응용 제품이 만들어지는 날도 가까워지고 있다. 여기서 소개한 반도체 기술을 바탕으로 한 접근 방법 외에 정밀기계 가공을 이용하여 mm 크기의 기계를 만들거나, 분자기계를 유전자공학의 수법으로 만들려고 하는 시도 등 여러 가지 접근 방법도 행해지고 있 으며 앞으로의 발전이 한층더 기대된다.