본 논문에서는 삼차원형상 측정의 슬릿광 주사방법(slit beam scanning topography)의 형상측정에 응용에 대해 기술한다. 이는 광학적인 방법으로 레이저 평면광을 물체에 주사하여 얻어지는 변형된 광궤적으로부터 광삼각법(optical triangulation)과 컴퓨터비젼 기술을 응용하여 삼차원형상을 측정한다. 기존의 방법 들과 비교하여 슬릿광 주사방법은 고속의 삼차원측정이 가능하여 검사자동화에 용이 하게 적용될 수 있는 장점을 갖는다. 본 논문에서는 슬릿광 주사방법에 대한 기본원 리를 유도하며, 이를 구현할 수 있는 측정시스템의 설계와 실제 측정예를 통해 본 방법이 갖는 장단점에 관하여 검토한다.
An optical method of slit beam scanning topography is presented for the 3-dimensional profile measurement of free-formed surfaces. A slit beam of laser is projected in a scanning mode and its illuminated trajectory on the object is captured by using a CCD camera. The 3-dimensional coordinates of the trajectory is then computed by using the given geometry between the slit beam and the camera, so that the whole surface profile of the object can be obtained in a successive manner. Detailed optical principles are described with special emphasis to lateral are discussed to demonstrate the measuring performances of the slit beam scanning topography proposed in this study.
