- XeCl 엑시머 레이저에서의 Pulse Stretching 효과
- ㆍ 저자명
- 주홍,김동환,이수만,전영민,최상삼,박대윤
- ㆍ 간행물명
- 한국광학회지
- ㆍ 권/호정보
- 1993년|4권 4호|pp.447-451 (5 pages)
- ㆍ 발행정보
- 한국광학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
용량이행형 방전회로를 이용하여 장펄스 XeCl 엑시머 레이저를 발진 시켰으며, 펄스폭은 150ns(FWHM)이었다. 펄스폭에 영향을 미치는 가스분압 및 capacitance의 비에 따른 펄스폭의 변화를 관측 하였으며, 이로부터 단펄스에서 장펄스로의 발진을 쉽게 얻을 수 있음을 알았다. 일정 가tm 혼합 비율([Xe]/[HCl]=15)의 상태에서 HCl과 Xe가스의 분압이 감소함에 따라 광 펄스폭의 최대 변화량은 125ns이었고, 일정 압력 하에서의 capacitance비(Cm/Cp) 변화에 늘어나는 광 펄스폭의 변화량은 60ns이었다.
Long pulse XeCl excimer laser with 150 ns (FWHM) pulse duration is developed using a simple capacitor-charge transfer circuit. We measured the laser pulse width varying the gas mixture ratio and capacitance ratio, which dominantly affect the pulse width. In this way we can easily stretch the pulse width from short pulse to long pulse. The pulse width was stretched by 120 ns as the partial pressure of HC1 and Xe gas was reduced under constant gas mixture ratio ([Xe]/[HCl]= 15), and by varying the capacitance ratio (Cm/Cp) under fixed pressure, the pulse width was stretched by 60 ns.