Ar, Hg 및 Ar-Hg 혼합증기중에서 전자 에너지분포함수와 수송특성에 관한 연구

Ar, Hg 및 Ar-Hg 혼합증기중에서 전자 에너지분포함수와 수송특성에 관한 연구
A study on the characteristics of transport and electron energy distribution function in Ar, Hg and Ar-Hg mixtrured vapour

ㆍ 저자명: 하성철,하영선,윤상호,백승권
ㆍ 간행물명: 電氣電子材料學會誌= The journal of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers
ㆍ 권/호정보: 1993년|6권 3호|pp.233-240 (8 pages)
ㆍ 발행정보: 한국전기전자재료학회
ㆍ 파일정보: 정기간행물|
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ㆍ 주제분야: 기타

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더블히트파이프장치를 이용하여 순수 Ar, Hg 및 Ar-Hg 혼합증기의 전자이동속도를 온도는 순수 Ar의 경우 293[.deg.K], Hg의 경우 453-540[.deg.K]. Ar-Hg 혼합증기의 경우 320[.deg.K], E/N은 0.4~10[Td], 기체압력은 10~100[Torr]범위에서 유도전류법에 의해 측정하였다. 한편 볼츠만 방정식의 Backward Prolongation계산법으로 전자에너지분포함수를 구하고 그 값으로부터 전자수송특성을 산출하여 실험치와 비교하고 탄성 및 비탄성 충돌 단면적을 결정하였다. 그리고 Ar기체에 Hg증기를 0.5%, 1%, 5%, 10% 혼합하였을 때의 전자에너지분포함수와 전자이동속도를 산출하고 그에 미치는 영향을 고찰하였다.

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