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Emission Characteristics of MOS Electron Tunneling Cathode
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  • Emission Characteristics of MOS Electron Tunneling Cathode
  • Emission Characteristics of MOS Electron Tunneling Cathode
ㆍ 저자명
Yokoo. Kuniyoshi
ㆍ 간행물명
韓國眞空學會誌
ㆍ 권/호정보
1993년|2권 3호|pp.325-330 (6 pages)
ㆍ 발행정보
한국진공학회
ㆍ 파일정보
정기간행물|ENG|
PDF텍스트
ㆍ 주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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영문초록

실리콘 gate의 MOS 전자 턴넬링 전극을 구성하여 그 특성을 조사하였다. 전자 방출은 전 gate 영역에서 MOS diode의 전위차를 지나는 턴넬링에 의하여 일어나고 안정하였다. 측정된 전류에서 산화막과 gate에서의 열전자의 충돌을 연구하였다. 방출된 전류는 압력에 관계없이 일정하였다.

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