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Application of Electron Spectroscopies for Thin Film Analysis
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  • Application of Electron Spectroscopies for Thin Film Analysis
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저자명
Hua. Z.Y.
간행물명
韓國眞空學會誌
권/호정보
1993년|2권 3호|pp.384-390 (7 pages)
발행정보
한국진공학회
파일정보
정기간행물|ENG|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

A number of different thin-film analytical method using electron spectroscopies are reviewed and evaluated. Results from various kinds of films (e.g. superconductive, electron-emissive, amorphous, rare-earth containing, etc.) are given for illustration. The existing quantification problems from this technology and some approaches for solving them are also discussed.