- 위상이동법을 이용한 3차원 형상측정법의 연구
- ㆍ 저자명
- 오동석,남기봉
- ㆍ 간행물명
- 한국광학회지
- ㆍ 권/호정보
- 1994년|5권 2호|pp.191-197 (7 pages)
- ㆍ 발행정보
- 한국광학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
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본 연구에서는 물체의 형상을 측정하기 위하여 사용할 수 있는 여러 가지 방법중 위상이동법을 이용하여 주어진 물체의 형상을 재구성하였다. 투영하는 직선형 무늬는 Twyman-Green 간섭계를 이용하여 발생시켰고 PZT를 이용하여 이들 무늬를 공간적으로 이동시켰다. Hariharan의 위상복구 알고리즘을 사용하여 시료에 투영된 간섭무늬 영상을 해석하여 주어진 시료의 형상을 보정 상수의 범위이내로 재현할 수 있음을 보였다. 그러나 레이저광의 높은 가간섭성에 의한 여러잡음 성분들에 의한 부작용이 관찰되었으며, 정확한 보정의 문제도 주목되었다.
We investigated the properties of various methods of 3 dimensional profilometry to choose the phase shifting technique for the reconstruction of the shape of a given specimen. The pattern was generated by a Twyman-Green interferometer and a PZT was used to shift the fringes on the target surface. The shape was calculated with Hariharan algorithm within the uncertainty of a scaling factor. The optical noise inherent in the laser source was observed to influence the final outcome to a great extent and the need for an exact calibration was noted. noted.