- ${AI_2}{O_3}$/ AI 및 ${SnO_2}-{AI_2}{O_3}$/AI박막습도 센서에 관한 연구
- ㆍ 저자명
- 전춘생,Jeon. Chun-Saeng
- ㆍ 간행물명
- 한국재료학회지
- ㆍ 권/호정보
- 1994년|4권 2호|pp.159-165 (7 pages)
- ㆍ 발행정보
- 한국재료학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
순수한 알루미늄을 양극산화한 $AI_2O_3/AI$ 소자 및 그 위에$SnO_2$를 증착, 소자를 제작하여 그들의 전기적인 특성을 여러 습도 분위기 중에서 조사하였다. 단위습도당의 표면저항 변화는 $AI_2O_3/AI$ 소자에서는 $1.40 imes 10^{-2}Omega$ /RH이었다. 두 소자는 습도에 따른 표면저항 변화중에서 hysteresis현상을 나타내고 있지만, $SnO_2-AI_2O_3/Al$ 소자쪽이 더 작은 hysteresis현상을 나타내었다. $SnO_2-AI_2O_3/Al$ 소자에 있어서 표면저항에 대한 온도의존성은 40-$60^{circ}C$에서 $2.50 imes 10^{-2} Omega /^{circ}C$인것에비해 0~$20^{circ}C$에서는 $0.56 imes 10^{-2} Omega /^{circ}C$와 같이 적기 때문에 $SnO_2-AI_2O_3/Al$ 소자는 실온영역에서 습도센서로 쓸 수 있다고 결론할 수 있다.
Two kinds of humidity sensor are made, one by anodizing pure aluminum and the other by evaporation Sn02 on the anodized pure alumia film, and their electrical characteristics are investigated in various humidity atmosphere. The change of surface resistance with humidity of $AI_2O_3/AI$ and $SnO_2-AI_2O_3/Al$ sensors are found to be $1.40 imes 10^{-2}Omega$/RH and $1.56 imes 10^{-2}Omega$/RH, respectively. The hysteresis phenomena associated with the irreversibility of surface resistance-humidity is less in $SnO_2-AI_2O_3/Al$ sensor than in $AI_2O_3/AI$. It is concluded that $SnO_2-AI_2O_3/Al$ film can be used as humidity sensor in room temperature region because temperature dependence of surface resistance of the film is found to be as $0.56 imes 10^{-2} Omega /^{circ}C$ in O~ $20^{circ}C$ range, where as $2.50 imes 10^{-2} Omega /^{circ}C$ in 40-$50^{circ}C$.