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RHEED 반점의 강도변화를 이용한 Si(111)-Sn 표면조사
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  • RHEED 반점의 강도변화를 이용한 Si(111)-Sn 표면조사
저자명
곽호원,이의완
간행물명
韓國眞空學會誌
권/호정보
1994년|3권 2호|pp.186-189 (4 pages)
발행정보
한국진공학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

Si(111)-7x7 표면에 Sn을 증착시킬 때 기판온도와 증착량에 따른 표면구조의 변화를 RHEED상 (pattern)과 RHEED상의 회절반점(spot) 강도변화를 관찰하여 조사하였다. Si(111) 기판오도를 $ 400^{circ}C$로 유지하면서 Sn을 증착시킬 때{{{{ SQRT { 3}$ imes$ SQRT { 3} 구조가 관찰되었으며 기판온도 $200^{circ}C$ 이하에서는 증착량에 따라 {{{{ SQRT { 3}$ imes$ SQRT { 3} }}, {{{{2 SQRT { 3} $ imes$2 SQRT { 3} }}, 구조들이 관찰되었다. RHEED 반점의 강도변화를 이용하여 Si(111)-Sn {{{{ SQRT { 3}$ imes$ SQRT { 3} 서의 Sndnjs자의 이탈과정을 조사한 결과 이탈에너지는 $3.3pm$0.1 eV로 조사되었다.