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비정질 실리콘 박막 트랜지스터에서 전계효과 이동도의 Chebyshev 근사
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  • 비정질 실리콘 박막 트랜지스터에서 전계효과 이동도의 Chebyshev 근사
저자명
박재홍,김철주
간행물명
電子工學會論文誌. Jounnal of the Korea institute of telematics and electronics. A. A
권/호정보
1994년|4호|pp.77-83 (7 pages)
발행정보
대한전자공학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

In this paper we numerically approximated the field-effect mobility of a-Si:H TFT. Field-effect mobility, based on the charge-trapping model and new effective capacitance model in our study, used Chebyshev approximation was approximated as the function of gate potential(gate-to-channel voltage). Even though various external factors are changed, this formula can be applied by choosing the characteristic coefficients without any change of the approximation formula corresponding to each operation region. Using new approximated field-effect mobility formula, the dependences of field-effect mobility on materials and thickness of gate insulator, thickness of a-Si bulk, and operation temperature in inverted staggered-electrode a-Si:H TFT were estimated. By this was the usefulness of new approximated mobility formula proved.