탄성표면파 소자용 압전재료의 특성을 평가하여 최적 절단명과 전파방형을 결정하였다. 압전단결정 $LiTaO_4$에 대하여 Rayleigh파의 속도, 결합계수, 표면유전상수, 주파수-온도계수, 감쇠계수, 퓨어모드 전하, 빔 산란, 그리고 정열오차 감도 등의 항목들을 평가하였다. 이론적 계산 결과 Y절단면상의 X축 방향이 최적치로 나타났고, 이결과는 시럼에 의해 확인되었다. 본 논문의 평가방법은 여타 다른 압전재료들에도 동일하게 적용이 가능하다.
Characteristics of a piezoelectric material are evaluated to pick up the optimal crystal cut and propagation direction for a SAW device. For the piezoelectric single crystal $LiTaO_4$, such items are investigated as the Rayleigh wave velocity, the electromechanical coupling factor, the surface permittivity, the frequency-temperature coefficient, the air loading attenuation, the pure mode propagation, the beam steering and the misalignment sensitivity. Theoretical calculations reveal that Y-cut and Z-propagation is the optimal SAW propagation path. The results are confirmed through experiments. The method empolyed in this paper is applicable to other crystals, too, either single or poly crystals.
