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졸-겔법에 의한 $TiO_2$ 박막의 특성에 관한 연구
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  • 졸-겔법에 의한 $TiO_2$ 박막의 특성에 관한 연구
저자명
황규석,김병훈
간행물명
요업학회지
권/호정보
1995년|32권 3호|pp.281-288 (8 pages)
발행정보
한국세라믹학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

to prepare the TiO2 thin films, acetyl-acetone(2.4-pentanedione)(1 : 1 molar ratio) was dissolved in the propanol solution of titanium(IV)isopropoxide(Ti[OCH(CH3)2]4). Al, Cr and Sb in the form of soluble salt and niobium ethoxide were added s dopants, respectively. Thin films were coated by the dip-coating method and characteristics were investigated by XRD, SEM and conductance meter. As a result, viscosity of sol was maintained below 4 centi Poise more than 20 days, and crystal growth and diminution of resistivity occurred as the heat treatment temperature increased. The grains grew over 1${mu}{ extrm}{m}$ and the lowest resistivity was obtained when Nb was added at 130$0^{circ}C$.