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$WO_3$ 박막을 이용한 $NO_x$ 센서의 제조 및 가스감도 특성
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  • $WO_3$ 박막을 이용한 $NO_x$ 센서의 제조 및 가스감도 특성
저자명
유광수,김태송,정형진
간행물명
요업학회지
권/호정보
1995년|32권 12호|pp.1369-1376 (8 pages)
발행정보
한국세라믹학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

The WO3 thin-film NOx sensor which is of practical use and includes the heater and the temperature sensor was fabricated. The WO3 thin films as a gas-sensing layer was deposited at ambient temperature in a high-vacuum resistance heated evaporator. The highest sensitivity of the WO3 thin-film sensor to NOx was obtained under the condition of the annealing temperature of 50$0^{circ}C$ and the operating temperature of 30$0^{circ}C$. The gas sensing characteristics of this sensor was excellent, i.e. high sensitivity (Rgas/Rair in 3 ppm NO2=53) and fast response time (4 seconds).