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SoI-Gel법에 의한 $Pb(Zr_{0.52}Ti_{0.48})O_3$박막의 제조 및 강유전 특성
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  • SoI-Gel법에 의한 $Pb(Zr_{0.52}Ti_{0.48})O_3$박막의 제조 및 강유전 특성
  • Preparation and ferroelectric properties of the $Pb(Zr_{0.52}Ti_{0.48})O_3$ thin film by Sol-Gel method
저자명
정장호,박인길,류기원,배선기,이영희
간행물명
電氣電子材料學會誌= The journal of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers
권/호정보
1995년|8권 5호|pp.606-610 (5 pages)
발행정보
한국전기전자재료학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

In this study, Pb(Z $r_{0.52}$ $Ti_{0.48}$) $O_{3}$ ceramic thin films were fabricated from an alkoxide-based by Sol-Gel method. Pb(Z $r_{0.52}$ $Ti_{0.48}$) $O_{3}$ stock solution was made and spin-coated on the Pt/ $SiO_{2}$/Si substrate at 4000[rpm] for 30[sec.]. Coated specimens were chied at 400[.deg. C] for 10[min]. The coating process was repeated 6 times and then heat-treated at 500-800[.deg. C] and 1 hour. The final thickness of the thin films were about 4800[.angs.]. The ferroelectric perovskite phases precipitated under the sintering of 700[.deg. C] for 1 hour. Pb(Z $r_{0.52}$ $Ti_{0.48}$) $O_{3}$ thin films sintered at 700[.deg. C] for 1 hour showed good dielectric and ferroelectric