- 직류 스퍼터링법에 의해 제막된 $SnO_2/AI/Ag/AI/SnO_2$ 구조 열선반사유리의 열적안전성
- ㆍ 저자명
- 김의수,유병석
- ㆍ 간행물명
- 韓國眞空學會誌
- ㆍ 권/호정보
- 1995년|4권 1호|pp.32-39 (8 pages)
- ㆍ 발행정보
- 한국진공학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
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SnO2/AI/Ag/AI/SnO2층 구조로 이루어진 열처리 가능한 열선반사막을 직류 스퍼터링법에 의해 soda-lime silicate 유리위에 형성시켰다. 이 코팅유리를 $650^{circ}C$에서 열처리하면 가시광선 투과율 85%이상, plasma wavelength 970nm 이하를 얻을 수 있었다. 따라서 이 구조의 막은 유리 곡가공에 견디는 열적 안정성을 나타내었으며, 코팅유리의 열처리에 따른 전기적 특성 및 열적 안정성은 각각 Ag와 AI층의 두께에 의존하였다.