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초박막구조 단결정성장을 위한 수직형 LPE장치의 제작과 성능개선에 관한 연구
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  • 초박막구조 단결정성장을 위한 수직형 LPE장치의 제작과 성능개선에 관한 연구
  • A Study on the Development & Performance Improvement of Vertical Type LPE System for a Ulta Thin Layer Single Crystal Growth
저자명
오종환,홍창희
간행물명
韓國航海學會誌
권/호정보
1995년|19권 4호|pp.83-92 (10 pages)
발행정보
한국항해항만학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

In this study, a vertical type LPE system has been developed for III-V semiconductor compounds single crystal growth. On the basis of the experience & basic study using this system, the system modification has been carried out for a ultra thin multi-layer single crystal. The temperature fluctuation was within ${pm}0.006^{circ}C$ at $800^{circ}C$, temperature uniformity for graphite boat around was within ${pm}0.15^{circ}C$ at $650^{circ}C$, and cooling rate was controllable from $2.2^{circ}C$/min to $0.05^{circ}C$/min. As a result it is considered to satisfy the condition to grow a ultra thin layer single crystal of III-V semiconductor compounds.