- 저온동작용 $Co_{3}O_{4}$ 부탄가스 감지 소자(I)
- ㆍ 저자명
- 정진환,최순돈,Chung. Jin-Hwan,Choi. Soon-Don
- ㆍ 간행물명
- 센서학회지
- ㆍ 권/호정보
- 1996년|5권 6호|pp.7-14 (8 pages)
- ㆍ 발행정보
- 한국센서학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
저온에서 동작 가능한 센서를 개발하기 위하여 $Co_{3}O_{4}$ 후막 소자를 제조하였다. $Co_{3}O_{4}$ 분말은 질산코발트 수용액으로부터 침전하여 얻었으며 binder인 ethylene glycol과 혼합하여 알루미나 기판상에 후막을 인쇄하였다. 제조된 후막에 대해 binder 함량 및 열처리 조건에 따른 부탄가스의 감도 및 회복성을 조사하였다. 동작 온도 $250^{circ}C$에서 15% ethylene glycol을 함유한 $Co_{3}O_{4}$ 분말을 $300^{circ}C$ 에서 24시간 동안 열처리한 소자가 부탄가스에 대하여 최고의 감도를 나타내었다. 감도는 500ppm 부탄가스에 대하여 1.1 정도로, 동작 온도 $350{sim}400^{circ}C$에서 상용 $SnO_{2}$ 가스 감지 소자의 감도 $0.8{sim}0.85$와 비교할 때 매우 높았다. 응답 특성은 매우 좋았으나 회복성은 나쁜 것으로 나타났다.
In order to develop gas sensor operating at low temperature, thick film $Co_{3}O_{4}$ sensor was fabricated. $Co_{3}O_{4}$ powder was prepared by precipitation from cobalt nitrate solution and the powders containing ethylene glycol as a binder was screen-printed on alumina substrate. Characteristics of sensitivity, response time, and recovery were investigated in terms of binder content and heat treating conditions. The $Co_{3}O_{4}$ sensor contained 15% ethylene glycol and heat-treated at $300^{circ}C$ for 24hr showed the highest sensitivity at the operating temperature of $250^{circ}C$. Its sensitivity of 1.1 to 5000ppm butane gas was very high, as compared with $0.8{sim}0.85$ at the operating temperature of $350{sim}400^{circ}C$ for a commercial $SnO_{2}$ gas sensor. It is found that response time was fast, but recovery was poor for the sensor.