- 박막형 $WO_{3}$계 가스센서의 NOx 감도 특성
- ㆍ 저자명
- 유광수,Yoo. Kwang-Soo
- ㆍ 간행물명
- 센서학회지
- ㆍ 권/호정보
- 1996년|5권 5호|pp.39-46 (8 pages)
- ㆍ 발행정보
- 한국센서학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
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$WO_{3}$에 미량의 Pd 또는 Pt가 첨가된 박막을 이용한 NOx 센서를 제조하였다. $WO_{3}$계 박막은 고진공, 저항가연식 evaporator를 이용하여 분위기온도에서 증착한 다음 $500^{circ}C$에서 열처리하였다. 5 ppm의 $NO_{2}$가스에 대하여 $200^{circ}C$에서 측정한 가스감도($R_{gas}/R_{air}$)는 0.5 wt.% $Pt-WO_{3}$ 센서에서 50으로서 최대값을 가졌다.
The Pd or Pt-doped $WO_{3}$ thin-film NOx sensor was fabricated. The $WO_{3}$-based thin films as a gas-sensing layer were deposited at ambient temperature in a high-vacuum resistance heated evaporator and annealed at $500^{circ}C$. The gas sensitivity ($R_{gas}/R_{air}$) to 5 ppm $NO_{2}$ measured at the operating temperature of $300^{circ}C$ was 50 (highest sensitivity) for the 0.5 wt.% $Pt-WO_{3}$ sensor.