본 연구에서는 스크린 프린팅 기술을 이용한 병렬저항열원을 갖는 후막형 가연성 가스센서를 제조하고, 메탄 가스에 대한 감도특성을 조사하였다. 알루미나 기판의 양면 위에 제조된 병렬형 백금 후막발열체는 후막형백금 저항체의 온도 감지 특성과 표면 특성을 조사하여 백금페이스트 TR7905 제품을 선정하였다. 제조된 백금 후막 발열체는 평균저항같이 $1.8{Omega}$이고, TCR값은 $3685;ppm/^{circ}C$이었다. 제조된 백금 발열체상에 Pt과 Pd이 첨가된 촉매 페이스트를 제조하고 감지부는 Pt과 Pd가 첨가된 촉매를 스크린 프린팅하여 후막을 형성하고 열처리하여 제조하였다. 제조된 후막형 센서는 메탄 가스에 대해 4.3mV/1000ppm의 감도를 보였으며, 소비전력은 2.12W이었다.
Thick film type gas sensors with parallel Pt heaters were fabricated by screen printing process and investigated sensitivities for methane gas. The TR7905 was selected as Pt paste for heater by characterization the properties of TCRs and thick film microstructures. The average resistance of parallel Pt heaters was $1.8{Omega}$, and the best TCR obtained was $3685;ppm/^{circ}C$. On the top of the Pt heaters, a sensing layer added with Pt and Pd as catalyst paste was screen printed and heat treated. The sensitivity of the sensor was 4.3mV/1000ppm for methane. The power consumption of the sensors was 2.12watts.
