Czochralski법에 의한 단결정 자동직경 제어시스템 개발;Nd:YAG 단결정 성장

Czochralski법에 의한 단결정 자동직경 제어시스템 개발;Nd:YAG 단결정 성장
Automatic Diameter Control System for Single Crystal Growth by Czochralski Method; Growth of Nd:YAG Single Crystal

ㆍ 저자명: 배소익,이상호,김한태,Bae. So-Ik,Lee. Sang-Ho,Kim. Han-Tae
ㆍ 간행물명: 한국결정학회지
ㆍ 권/호정보: 1996년|7권 1호|pp.1-7 (7 pages)
ㆍ 발행정보: 한국결정학회
ㆍ 파일정보: 정기간행물|
PDF텍스트
ㆍ 주제분야: 기타

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서지반출

기타언어초록

Czochralski 인상장치에 로드 셀(load cell) 및 데이터 입출력 장치를 부착하고, computer에 의해 목표로 하는 크기의 단결정이 성장되도록 RF power가 자동 조정되는 프로그램을 개발하였다. 본 연구에서는 개발된 프로그램의 동작원리, 특성 및 구성 장치를 중심으로 기술하였으며, Nd:YAG산화물 단결정에 이 방법을 적용한 결과 ±5% 내에서 Nd:YAG 결정의 직경이 조절됨을 확인하였다.

기타언어초록

We developed an automatic diameter control system to control the diameter of single crystal for Czochralski growth. The system is composed of load cell, software program and data acquisition system connected to computer which controls RF power. This study describes the basic principle, characteristics and components of the system. The diameter of Nd:YAG crystal could be controlled within ±5% tolerance by this system.

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